[發(fā)明專利]一種多層納米復合刀具涂層及其制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910162657.0
• 申請日: 2019-03-05
• 公開（公告）號: CN110042350B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發(fā)明（設計）人: 郭光宇;陳金海;鐘偉強
• 申請（專利權）人: 科匯納米技術(深圳)有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/06;C23C14/02
• 代理公司: 廣州市時代知識產權代理事務所(普通合伙) 44438
• 代理人: 楊樹民

1.一種多層納米復合刀具涂層的制作方法，其特征在于：包括以下步驟：

（1）刀具清洗：首先將刀具基體放入到超聲波清洗機內進行清洗，然后去除的刀具基體表面水分，使得刀具基體表面干燥、清潔；

（2）抽真空處理：首先將完成步驟（1）的刀具基體均勻裝夾在鍍膜設備的轉架上，然后將轉架放置在由Cr靶材、AlTi靶材和AlCrSiW靶材組成的閉合鍍膜設備中，并將真空室進行抽真空處理，最后打開加熱器升溫；

（3）離子清洗和離子轟擊：首先在完成步驟（2）的真空室內通入氬氣，對刀具基體的表面進行輝光清洗，然后關閉氬氣輸入，開啟Cr靶材，對完成步驟（2）的刀具基體進行Cr離子轟擊，提高刀具基體表面的活性；

（4）制作底部粘接層：在完成步驟（3）的真空室內通入氮氣，使得在刀具基體的表面沉積CrN結合層；

（5）制作中間耐磨層：關閉Cr靶材，開啟AlTi靶材，在完成步驟（4）的CrN結合層的表面沉積AlTiN中間層；

（6）制作混合過渡層：開啟AlCrSiW靶材和AlTi靶材，在完成步驟（5）的AlTiN中間層的表面沉積AlCrSiWN及AlTiN混合層；

（7）制作表面功能層：關閉AlTi靶材，開啟AlCrSiW靶材，在完成步驟（6）的AlCrSiWN及AlTiN混合層的表面沉積AlCrSiWN表面層，得到多層納米復合刀具;

在步驟（5）中，所述AlTi靶材由成分比為Al60%和Ti40%組成;

在步驟（6）中，所述AlCrSiW靶材由成分比為Al65%、Cr20%、Si5%和W10%組成。

2.如權利要求1所述的一種多層納米復合刀具涂層的制作方法，其特征在于：在步驟（2）中，所述真空室內的背底真空氣壓不小于0.01Pa。

3.如權利要求1至2任意一項的一種多層納米復合刀具涂層的制作方法制得的一種多層納米復合刀具涂層，其特征在于：所述刀具由內至外依次包括有刀具基體、底部粘接層、中間耐磨層、混合過渡層、表面功能層；

所述底部粘接層為CrN結合層，所述底部粘接層的厚度為0.9um至1.1um；

所述中間耐磨層為AlTiN中間層，所述中間耐磨層的厚度為0.8 um至1.2um；

所述混合過渡層為AlCrSiWN及AlTiN混合層，所述混合過渡層的厚度為0.09 um至0.11um；

所述表面功能層為AlCrSiWN表面層，所述表面功能層的厚度為0.8 um至1.2um。