[發明專利]一種液態金屬靶材及其制備合金膜的方法有效
| 申請號： | 201910161639.0 | 申請日： | 2019-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN109763109B | 公開（公告）日： | 2022-03-04 |
| 發明（設計）人： | 崔云濤;田利豐;劉靜 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/58;C22C28/00;H01L31/032 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王文君;陳征 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 液態 金屬 及其 制備 合金 方法 | ||
1.一種GaInZn合金膜或CuGaIn合金膜的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：將金屬靶材和銅靶材或將液態金屬靶材和鋅靶材置于物理氣相沉積鍍膜設備中通過共濺射法進行鍍膜；
所述液態金屬靶材的鍍膜條件為：氬氣流量10～30sccm，氧氣流量0或10～30sccm，靶基距18～40mm，基底溫度15～25℃，濺射功率40～100W；
所述銅或鋅靶材的鍍膜條件為：氬氣流量10～30sccm，氧氣流量0或10～30sccm，靶基距18～40mm，基底溫度15～25℃，濺射功率40～100W；
所述液態金屬靶材包括靶材基底和覆于所述靶材基底表面的液態金屬靶材層，所述液態金屬為鎵銦合金，所述鎵銦合金中鎵的摩爾百分比為40～60％，所述靶材基底為銅或鐵；
所述液態金屬靶材由如下方法制備得到：將液態金屬和靶材基底置于酸性溶液中處理，使所述液態金屬覆于所述靶材基底的表面；
所述酸性溶液的pH為0～1，在溫度40～80℃的條件下處理1～5min。
2.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述液態金屬靶材層的厚度為0.1～1mm。
3.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，單質銦和單質鎵中的雜質含量不超過0.01％。
4.根據權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述基底包括但不限于硅片、玻璃、銅、鉬、PDMS中的一種或多種。
5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述基底為硅片、鉬或玻璃。
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