[發(fā)明專利]一種微機電陀螺儀

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201910157140.2
• 申請日: 2019-03-01
• 公開（公告）號: CN109696163A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發(fā)明（設計）人: 張彪;王志靈
• 申請（專利權(quán)）人: 成都因賽泰科技有限責任公司
• 主分類號: G01C19/56
• 分類號: G01C19/56
• 代理公司: 成都睿道專利代理事務所(普通合伙) 51217
• 代理人: 薛波

1.一種微機電陀螺儀，包括基底層(124)和檢測質(zhì)量塊層(122)，所述的基底層(124)包括基底(114)，所述的檢測質(zhì)量塊層(122)包括檢測質(zhì)量塊(100)、可形變梁(102)和柱(104)，檢測質(zhì)量塊(100)通過可形變梁(102)和柱(104)懸浮在基底(114)上方，其特征在于：所述的陀螺儀還包括包覆層(120)，包覆層(120)包括覆蓋層(112)，所述的檢測質(zhì)量塊(100)設置在腔室內(nèi)，所述的腔室包括第一腔室(130)和第二腔室(128)，所述的檢測質(zhì)量塊(100)與基底(114)之間為第一腔室(130)，所述的檢測質(zhì)量塊(100)與覆蓋層(112)之間為第二腔室(128)，第一腔室(130)與第二腔室(128)連通，第一腔室(130)與第二腔室(128)內(nèi)的氣壓低于大氣壓。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的檢測質(zhì)量塊(100)固定在可形變梁(102)上，可形變梁(102)固定在柱(104)上，柱(104)固定安裝在基底(114)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的檢測質(zhì)量塊層(122)還包括錨(108)，所述的可形變梁(102)固定在錨(108)上，錨(108)固定在柱(104)的頂端。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的柱(104)包覆第一腔室(130)并密封的固定連接在基底(114)上，檢測質(zhì)量塊(100)、可形變梁(102)、錨(108)、柱(104)和基底(114)之間為第一腔室(130)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的包覆層(120)還包括墻(110)，所述的覆蓋層(112)固定在墻(110)頂端，墻(110)的底端固定連接在錨(108)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的墻(110)包裹第二腔室(128)，且墻(110)密封的固定連接在錨(108)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微機電陀螺儀，其特征在于：所述的第一腔室(130)和第二腔室(128)的氣壓小于等于500mToor。