[發(fā)明專利]進(jìn)出料裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910152890.0
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN111621765A
• 公開（公告）日: 2020-09-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韓曉琳;劉福山;劉洋
• 申請（專利權(quán)）人: 山西米亞索樂裝備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/54;H01L31/18
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 張建綱

1.一種進(jìn)出料裝置，用于密閉腔室的進(jìn)出料，所述密閉腔室上設(shè)置有供基材通過的開口，其特征在于，所述進(jìn)出料裝置包括：

夾送輥組件，所述夾送輥組件包括第一夾送輥和第二夾送輥，所述第一夾送輥和所述第二夾送輥設(shè)置于所述密閉腔室的外側(cè)，所述第一夾送輥和所述第二夾送輥相互配合以驅(qū)動基材通過所述開口進(jìn)入或移出所述密閉腔室；

間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)與所述第一夾送輥和/或所述第二夾送輥連接，用于調(diào)節(jié)所述第一夾送輥和所述第二夾送輥之間的間距。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括調(diào)節(jié)螺桿，所述調(diào)節(jié)螺桿與所述第一夾送輥和/或所述第二夾送輥連接，用于驅(qū)動所述第一夾送輥和/或所述第二夾送輥沿相互靠近或遠(yuǎn)離的方向運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述間距調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)還包括依次連接的檢測單元、控制單元和驅(qū)動電機(jī)；

所述檢測單元，用于檢測所述基材的參數(shù)；

所述控制單元，用于根據(jù)所述基材的參數(shù)控制所述驅(qū)動電機(jī)的工作狀態(tài)；

所述驅(qū)動電機(jī)，所述驅(qū)動電機(jī)的輸出端與所述調(diào)節(jié)螺桿連接，用于驅(qū)動所述調(diào)節(jié)螺桿運動以帶動所述第一夾送輥和/或所述第二夾送輥沿相互靠近或遠(yuǎn)離的方向運動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述進(jìn)出料裝置還包括：

第一密封組件，所述第一密封組件設(shè)置于所述開口的邊緣，用于與所述第一夾送輥和所述第二夾送輥配合密封所述開口。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述第一密封組件包括第一安裝板、第二安裝板、第一密封條以及第二密封條，所述第一安裝板和所述第二安裝板分別設(shè)置于所述開口的相對兩側(cè)并與所述開口的邊緣密封連接，所述第一密封條壓緊于所述第一安裝板與所述第一夾送輥之間，所述第二密封條壓緊于所述第二安裝板與所述第二夾送輥之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述進(jìn)出料裝置還包括夾送輥安裝組件，所述夾送輥安裝組件包括第三安裝板、第四安裝板、第一安裝組件、第二安裝組件、第三安裝組件以及第四安裝組件，所述第一夾送輥的第一端通過所述第一安裝組件與所述第三安裝板轉(zhuǎn)動連接，所述第一夾送輥的第二端通過所述第二安裝組件與所述第四安裝板轉(zhuǎn)動連接，所述第二夾送輥的第一端通過所述第三安裝組件與所述第三安裝板轉(zhuǎn)動連接，所述第二夾送輥的第二端通過所述第四安裝組件與所述第四安裝板轉(zhuǎn)動連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述第一安裝組件、第二安裝組件、第三安裝組件以及第四安裝組件均包括軸承和軸承安裝座，所述第一夾送輥的第一端和第二端、以及所述第二夾送輥的第一端和第二端均通過所述軸承與對應(yīng)的所述軸承安裝座轉(zhuǎn)動連接，所述軸承安裝座滑動設(shè)置于所述第三安裝板或所述第四安裝板上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述第三安裝板和所述第四安裝板上設(shè)置有安裝槽以及與所述安裝槽連通的通孔，所述軸承安裝座設(shè)置于所述安裝槽內(nèi)，所述調(diào)節(jié)螺桿伸入所述通孔與所述軸承安裝座連接以頂推所述軸承安裝座在所述安裝槽內(nèi)滑動。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述進(jìn)出料裝置還包括第一密封圈，所述第一安裝板、第二安裝板、第三安裝板以及第四安裝板圍繞所述開口設(shè)置并安裝于所述密閉腔室的外壁上，所述第一密封圈圍繞所述開口設(shè)置并用于密封所述密閉腔室與所述第一安裝板、第二安裝板、第三安裝板以及第四安裝板之間的間隙。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)出料裝置，其特征在于，所述第一夾送輥為金屬輥或橡膠輥，所述第二夾送輥為金屬輥或橡膠輥。