[發明專利]一種基于圖形化石墨烯薄膜的微流控芯片及其制備方法在審
| 申請號： | 201910149682.5 | 申請日： | 2019-02-28 |
| 公開（公告）號： | CN111617811A | 公開（公告）日： | 2020-09-04 |
| 發明（設計）人： | 董國材;劉玉菲;張金龍 | 申請（專利權）人： | 常州碳維納米科技有限公司 |
| 主分類號： | B01L3/00 | 分類號： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 圖形 化石 薄膜 微流控 芯片 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于圖形化石墨烯薄膜的微流控芯片及其制備方法，其特征在于，包括：流道5、蓋板6、子芯片1，所述子芯片1布置于流道5與蓋板5之間，所述子芯片上布置有電極2，所述電極底座包括金層3和位于金層上表面的石墨烯層4，所述石墨烯層具有和細胞表面的絲狀偽足相匹配的微納褶皺和紋理結構。
2.如權利要求1所述的微流控芯片的制作方法，其特征在于，具體如下：
1、在玻璃基板上以2500rpm旋涂正光刻(S1818)以產生2um厚的PR層；
通過UV曝光和 顯影將掩模版上的圖案轉印到玻璃基板上；
2、通過磁控濺射的方法依次將Cr/Au/Ti(10nm/100nm/100nm)通過濺射到經過剝離工藝處理的玻璃基板上；
3、浸入丙酮溶液中半小時，然后用乙醇和去離子水漂洗，以完全洗掉光致抗蝕劑層，形成圖案化的金電極層；
4、將已制備好的圖形化石墨烯薄膜轉移到圖案化的金電極上；
5、鍵合于PDMS流道及PDMS蓋板。
3.如權利要求2所述的微流控芯片的制作方法，其特征在于，所述均PDMS流道及PDMS蓋板通過模板法加工得到。
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