[發(fā)明專利]一種大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量裝置與測量方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910144000.1
• 申請日: 2019-02-27
• 公開（公告）號: CN109708593A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫勝利;于清華;陳凡勝;林長青;林加木
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院上海技術(shù)物理研究所
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30
• 代理公司: 上海滬慧律師事務(wù)所 31311
• 代理人: 郭英

1.一種大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量裝置，包括小F數(shù)點光源會聚光源組件和高精密位置調(diào)整系統(tǒng)，其特征在于：

所述的大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量裝置中光源組件的工作譜段覆蓋預(yù)定檢測的焦平面探測器響應(yīng)譜段；光源組件的后工作距滿足大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量需求；高精密位置調(diào)整系統(tǒng)與小F數(shù)點光源會聚光源組件剛性固定鏈接，且高精度位置調(diào)整系統(tǒng)的位置測量精度滿足滿足大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量需求。

2.一種基于權(quán)利要求1所述的大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量裝置的測量方法，其特征在于方法如下：

測量前，大規(guī)模拼接焦平面探測器與大規(guī)模拼接焦平面探測器平面度測量裝置對接，且使小F數(shù)點光源會聚光源組件焦點達到大規(guī)模拼接焦平面探測器感光面位置；

測試過程中，固定大規(guī)模拼接探測器不動，開啟大規(guī)模拼接探測器并進行信號實時監(jiān)測，調(diào)整光源組件位置，使光源會聚于探測器焦平面的預(yù)定的視場位置，并精細調(diào)整位置將其在探測器上的響應(yīng)信號達到最大，記錄此時高精度位置調(diào)整系統(tǒng)的位置坐標，之后調(diào)整至探測器焦平面下一個視場位置點如是操作與記錄，直至光源組件位置遍歷覆蓋探測器焦平面全視場范圍，之后對高精度位置調(diào)整系統(tǒng)的位置坐標進行平面擬合處理，進而得到探測器焦平面的光敏面平面度。