[發(fā)明專利]一種可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置

在審

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• 申請日: 2019-02-27
• 公開（公告）號: CN109884097A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設計）人: 曹亞楠;段寶玉;譚心;趙瑞超;張邦文;王海燕;諸葛晨昱;李一鳴;霍文霞;段寶龍
• 申請（專利權）人: 內蒙古科技大學
• 主分類號: G01N23/20016
• 分類號: G01N23/20016;G01N23/20;G01N23/203;G01N23/2251
• 代理公司: 北京挺立專利事務所(普通合伙) 11265
• 代理人: 賈楠楠

1.一種可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于，包括固定在掃描電鏡觀察臺面的機座，所述機座上開設有開槽，開槽的后側機座上設有固定板，所述固定板上固定有伺服電機，在伺服電機的轉子上固定有主動同步帶輪；所述開槽的兩側設有托臂；在托臂上設有軸孔，在托臂上通過轉軸安裝有活動臂；所述活動臂上開設有U型槽，在轉軸上且位于活動臂U型槽內固定有從動同步帶輪；在轉軸的一側通過聯(lián)軸器連接有轉角檢測傳感器；所述活動臂的前端面固定有楔形探頭，在探頭的上表面固定有樣品臺，在樣品臺的兩側固定有樣品夾；所述主動同步帶輪與從動同步帶輪通過同步帶連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述轉軸為階梯轉軸。

3.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述探頭通過銷軸可拆卸的與活動臂固定連接，探頭與活動臂對接面設為凸面，在凸起上設有銷孔，所述活動臂與探頭對接上設為凹面，在探頭上設有銷孔，且兩者銷孔的位置一致，探頭安插在活動臂的凹面內，并由銷軸固定。

4.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：以SEM電子束相垂直平面為0°面，可以使任意SEM的電子束與探頭平面夾角在-30°至150°或-15°至165°或-5°至175°或0°至180°中任意一夾角范圍內。

5.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述轉軸通過軸承與拖臂固定，且軸承為滾珠軸承。

6.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述活動臂與轉軸通過鍵槽配合的形式安裝。

7.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述主動同步帶輪與伺服電機通過鍵槽配合的形式安裝。

8.根據(jù)權利要求1所述的可傾轉透射模式電子背散射衍射實驗裝置，其特征在于：所述伺服電機與固定板之間設有一層橡膠墊。