[發明專利]一種濺射離子泵的磁路結構及濺射離子泵

有效

• 申請號: 201910142821.1
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN109830422B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 劉坤;臧浩天;杜廣煜;劉曉杰;寧久鑫;王曉東;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學
• 主分類號: H01J41/18
• 分類號: H01J41/18
• 代理公司: 北京易捷勝知識產權代理事務所(普通合伙) 11613
• 代理人: 韓國勝

1.一種濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，其包括抽氣組件、一對梯臺型磁軛、磁鐵和下方磁軛，所述下方磁軛的兩端上方分別設有所述磁鐵，所述磁鐵的上面固定梯臺型磁軛，所述梯臺型磁軛下寬上窄設置，所述一對梯臺型磁軛的垂直面相對設置，所述抽氣組件固定于兩個梯臺型磁軛之間；隨著與磁鐵距離的增大，所述梯臺型磁軛的厚度逐漸縮小，收縮其中的磁力線，使抽氣組件空間內形成磁感應強度不變的均勻磁場；

所述梯臺型磁軛斜邊的延長線與垂直線夾角為4.5°～5.5°，其直角結構的一面面向抽氣組件設置，斜面所在的一面朝向外側設置。

2.如權利要求1所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述梯臺型磁軛的材料為硅鋼片。

3.如權利要求1所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述抽氣組件包括抽氣內膽、殼體和上蓋，所述抽氣內膽包括多個直徑大小不一的陽極筒、絕緣塊和兩塊陰極板，將所述直徑大小不一的陽極筒進行平行固定形成陽極筒組，將陽極筒組的上方和下方均固定在絕緣塊上，所述陽極筒的兩端分別設有陰極板，構成一個箱型結構，箱型結構的外側設有所述殼體，所述上蓋將所述殼體扣合構成一體，并形成一個“T”型，在上蓋的上方開設有抽氣孔，所述抽氣組件卡接在兩個梯臺型磁軛之間。

4.如權利要求3所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述多個直徑大小不一的陽極筒包括多個兩種直徑的陽極筒，大直徑的陽極筒設置在上、下兩層，中間為小直徑的陽極筒，在所述絕緣塊內部底面設有與陽極筒卡接的托座，所述托座與絕緣塊的邊沿之間設有縫隙，所述縫隙的大小正好用于插接所述陰極板。

5.如權利要求1所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述磁路結構還包括固定蓋，所述固定蓋設于所述抽氣組件的上方，通過螺釘固定連接在所述梯臺型磁軛上。

6.如權利要求3或4所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述陰極板的材料為鈦金屬。

7.如權利要求4所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述陽極筒的軸向與所述梯臺型磁軛的垂直面垂直設置，所述陽極筒采用316L不銹鋼材料制成。

8.如權利要求4所述的濺射離子泵的磁路結構，其特征在于，所述絕緣塊為陶瓷或橡膠材質，所述磁鐵為釹鐵硼磁鐵。

9.一種濺射離子泵，其特征在于，其包括有如權利要求1-8中任一項所述的濺射離子泵的磁路結構。