[發明專利]蒸鍍裝置及其控制方法

在審

• 申請號: 201910142564.1
• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN111607761A
• 公開（公告）日: 2020-09-01
• 發明（設計）人: 林進志
• 申請（專利權）人: 陜西坤同半導體科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 西安亞信智佳知識產權代理事務所(普通合伙) 61241
• 代理人: 楊亞會

本申請提供一種蒸鍍裝置及其控制方法，涉及真空蒸鍍技術領域。該蒸鍍裝置包括蒸鍍腔體，所述蒸鍍腔體的一個表面設有多個蒸鍍孔；第一蒸鍍源，通過第一管道與第二管道連通；第二蒸鍍源，通過第三管道與所述第二管道連通；所述第二管道與所述蒸鍍腔體連通，且所述第一管道、第二管道和第三管道連接處設有第一閥門。本申請可以可在不停機的情況下切換蒸鍍源，使蒸鍍裝置持續作業，提升蒸鍍裝置的稼動率。

技術領域

本申請涉及真空蒸鍍技術領域，尤其涉及一種蒸鍍裝置及蒸鍍裝置的控制方法。

背景技術

蒸鍍源廠商不斷致力開發提升蒸鍍源整體特性，包括提升蒸鍍材料使用效率、蒸鍍膜的均勻性、速率控制穩定性及拉長蒸鍍源作業時間等。在現行蒸鍍源中又以線蒸鍍源為主流，常見的線蒸鍍源有T型蒸鍍源。參考圖1所示，現行的T型蒸鍍源設計架構包括蒸鍍源1和蒸鍍腔體2，蒸鍍腔體2的一個表面設有蒸鍍孔3，蒸鍍源1和蒸鍍腔體2通過管道4進行連通，蒸鍍工藝進行過程中蒸鍍源1進行加熱將內部材料蒸發至蒸鍍腔體2之后，再透過蒸鍍腔體2的蒸鍍孔3將蒸鍍氣5鍍到基板6上。

上述技術方案中，一般廠商的線蒸鍍源設計連續作業使用時間約為192～240小時，之后將因蒸鍍材料消耗殆盡而需停機進行材料更換，影響蒸鍍裝置的稼動率。

因此，有必要提供一種新的技術方案改善上述方案中存在的蒸鍍源需停機更換材料影響稼動率的問題。

需要注意的是，本部分旨在為權利要求書中陳述的本發明的實施方式提供背景或上下文。此處的描述不因為包括在本部分中就承認是現有技術。

發明內容

本發明的目的在于提供一種蒸鍍裝置及蒸鍍裝置的控制方法，以期拉長蒸鍍裝置作業時間，進而至少在一定程度上克服由于相關技術的限制和缺陷而導致的蒸鍍裝置需停機更換材料影響稼動率的問題。

根據本發明實施例的第一方面，提供一種蒸鍍裝置，包括：

蒸鍍腔體，所述蒸鍍腔體的一個表面設有多個蒸鍍孔；

第一蒸鍍源，通過第一管道與第二管道連通；

第二蒸鍍源，通過第三管道與第二管道連通，該第二管道與蒸鍍腔體連通，且第一管道、第二管道和第三管道連接處設有第一閥門。

本實施例中，在進行蒸鍍工藝時，調節第一閥門，使蒸鍍腔體與第一蒸鍍源連通，待第一蒸鍍源中的氣體使用完時，調節第一閥門，使蒸鍍腔體與第二蒸鍍源連通進而使蒸鍍裝置持續作業。

在一個實施例中，所述蒸鍍裝置還可以包括控制裝置，所述控制裝置與所述第一閥門連接；所述控制裝置用以在所述第一蒸鍍源中的氣體使用完時，控制所述第一閥門切換，使得所述蒸鍍腔體連通至第二蒸鍍源。

在一個實施例中，所述蒸鍍裝置還可以包括氣體傳感器，所述氣體傳感器設置于所述第一蒸鍍源中，用以檢測所述第一蒸鍍源中的氣體含量；所述控制裝置與所述氣體傳感器連接，用于接收所述氣體傳感器輸出的氣體含量值，在該氣體含量值為預設值時控制所述第一閥門切換。

在一個實施例中，所述第一閥門可以是三通電控閥門。

在一個實施例中，蒸鍍裝置還可以包括第三蒸鍍源，第三蒸鍍源通過第四管道與第二管道連通，第二管道上設有第二閥門，第二閥門與所述控制裝置連接。當第一蒸鍍源和第二蒸鍍源中的氣體使用完時，控制裝置控制第一閥門和第二閥門切換，使得蒸鍍腔體連通至第三蒸鍍源。

根據本發明實施例的第二方面，提供一種適用于上述蒸鍍裝置的控制方法。該控制方法包括：

調節第一閥門使蒸鍍腔體連通至第一蒸鍍源；

當第一蒸鍍源的氣體使用完時，調節第一閥門使蒸鍍腔體連通至第二蒸鍍源。