[發(fā)明專利]真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法

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• 申請日: 2019-02-26
• 公開（公告）號: CN109778133A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武文全
• 申請（專利權(quán)）人: 佛山市佛欣真空技術(shù)有限公司
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 蕪湖思誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 34138
• 代理人: 崔金

本發(fā)明公開了真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法，包括用戶使用的PC終端/手持終端、起到工藝參數(shù)實時在線傳輸作用的工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)、用于給多個電性元件提供電能的鍍膜機控制電箱、承載多個電性監(jiān)測調(diào)控元件的鍍膜機腔室、輔助用戶對真空鍍膜工藝參數(shù)進(jìn)行監(jiān)管的在線監(jiān)管APP。利用了成熟的互聯(lián)網(wǎng)技術(shù)，將真空鍍膜工藝過程中的各種參數(shù)通過工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)及時反饋給用戶的PC終端/手持終端，用戶需要對真空鍍膜工藝的參數(shù)進(jìn)行調(diào)整時，只需要借助PC終端/手持終端內(nèi)置安裝的在線監(jiān)管APP，即可快速實現(xiàn)參數(shù)調(diào)整，使得整個真空鍍膜工藝更加井然有序的進(jìn)行，提高了鍍膜工藝的工作效率，節(jié)約了大量的人力成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空鍍膜機遠(yuǎn)程控制技術(shù)領(lǐng)域，具體為真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法。

背景技術(shù)

真空鍍膜技術(shù)也稱物理氣相沉積技術(shù)，物理氣相沉積技術(shù)早在20世紀(jì)初已有些應(yīng)用，但30年迅速發(fā)展，成為一門極具廣闊應(yīng)用前景的新技術(shù)，并向著環(huán)保型、清潔型趨勢發(fā)展。20世紀(jì)90年代初至今，在鐘表行業(yè)，尤其是高檔手表金屬外觀件的表面處理方面達(dá)到越來越為廣泛的應(yīng)用。

真空蒸鍍基本原理是在真空條件下，使金屬、金屬合金或化合物蒸發(fā)，然后沉積在基體表面上，蒸發(fā)的方法常用電阻加熱，高頻感應(yīng)加熱，電子束、激光束、離子束高能轟擊鍍料，使蒸發(fā)成氣相，然后沉積在基體表面，歷史上，真空蒸鍍是PVD法中使用最早的技術(shù)。

濺射鍍膜基本原理是充氬(Ar)氣的真空條件下，使氬氣進(jìn)行輝光放電，這時氬(Ar)原子電離成氬離子(Ar+)，氬離子在電場力的作用下，加速轟擊以鍍料制作的陰極靶材，靶材會被濺射出來而沉積到工件表面。如果采用直流輝光放電，稱直流(Qc)濺射，射頻(RF)輝光放電引起的稱射頻濺射。磁控(M)輝光放電引起的稱磁控濺射。電弧等離子體鍍膜基本原理是在真空條件下，用引弧針引弧，使真空金壁(陽極)和鍍材(陰極)之間進(jìn)行弧光放電，陰極表面快速移動著多個陰極弧斑，不斷迅速蒸發(fā)甚至“異華”鍍料，使之電離成以鍍料為主要成分的電弧等離子體，并能迅速將鍍料沉積于基體。因為有多弧斑，所以也稱多弧蒸發(fā)離化過程。

離子鍍基本原理是在真空條件下，采用某種等離子體電離技術(shù)，使鍍料原子部分電離成離子，同時產(chǎn)生許多高能量的中性原子，在被鍍基體上加負(fù)偏壓。這樣在深度負(fù)偏壓的作用下，離子沉積于基體表面形成薄膜。

在真空鍍膜技術(shù)中，目前還未實現(xiàn)將真空鍍膜機的工藝參數(shù)通過互聯(lián)網(wǎng)或物聯(lián)網(wǎng)與用戶的PC終端/手持終端關(guān)聯(lián)在一起，既無法遠(yuǎn)程對真空鍍膜的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)整，造成鍍膜工藝生產(chǎn)的多處不便，為此，我們提出了一種真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有的缺陷，提供真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法，可以有效解決背景技術(shù)中提出的目前還未實現(xiàn)將真空鍍膜機的工藝參數(shù)通過互聯(lián)網(wǎng)或物聯(lián)網(wǎng)與用戶的PC終端/手持終端關(guān)聯(lián)在一起，既無法遠(yuǎn)程對真空鍍膜的工藝參數(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行調(diào)整，造成鍍膜工藝生產(chǎn)的多處不便的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：真空鍍膜工藝中基于互聯(lián)網(wǎng)的工藝參數(shù)調(diào)整方法，包括包括用戶使用的PC終端/手持終端、起到工藝參數(shù)實時在線傳輸作用的工業(yè)智能網(wǎng)關(guān)、用于給多個電性元件提供電能的鍍膜機控制電箱、承載多個電性監(jiān)測調(diào)控元件的鍍膜機腔室、輔助用戶對真空鍍膜工藝參數(shù)進(jìn)行監(jiān)管的在線監(jiān)管APP、輔助用戶在在線監(jiān)管APP上進(jìn)行登陸的用戶登錄模塊以及用于給在線監(jiān)管APP自動更新升級的在線升級模塊；