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[發(fā)明專利]一種防貼片的黑硅制絨裝置在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201910140983.1 申請日: 2019-02-26
公開(公告)號: CN109841704A 公開(公告)日: 2019-06-04
發(fā)明(設(shè)計)人: 孫鵬;鄭守春;張良;唐駿;席珍強(qiáng);余剛 申請(專利權(quán))人: 鎮(zhèn)江仁德新能源科技有限公司;鎮(zhèn)江榮德新能源科技有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;C30B33/10
代理公司: 南京瑞弘專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32249 代理人: 陳國強(qiáng)
地址: 212200 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 硅片 硅片花籃 機(jī)械臂 壓桿 脫水槽 機(jī)械桿 兩組 貼片 上下活動 制絨裝置 槽體 黑硅 卡齒 槽體頂部 側(cè)壁連接 頂部設(shè)置 橫向分隔 開口縱向 向下移動 裝置設(shè)置 承載器 烘干 底面 提拉 脫水 開口 抽出
【權(quán)利要求書】:

1.一種防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:包括機(jī)械臂(1)、預(yù)脫水槽槽體(4)和硅片花籃(7),所述預(yù)脫水槽槽體(4)的頂部設(shè)置有開口,所述機(jī)械臂(1)的下段連接有硅片花籃(7),所述硅片花籃(7)內(nèi)放置若干塊硅片(5);

所述機(jī)械臂(1)包括兩組機(jī)械桿(8),兩組機(jī)械桿(8)分別與硅片花籃(7)相對的兩個側(cè)壁(9)連接,兩組機(jī)械桿(8)之間設(shè)置有上下活動的壓桿(2),所述壓桿(2)的底面設(shè)置有若干個卡齒(3);

所述機(jī)械臂(1)帶動其底部的硅片花籃(7)經(jīng)預(yù)脫水槽槽體(4)頂部的開口縱向運(yùn)動,當(dāng)硅片花籃(7)向下運(yùn)動置于預(yù)脫水槽槽體(4)內(nèi),且預(yù)脫水槽槽體(4)內(nèi)的純水液(6)沒過于硅片(5)頂面時;壓桿(2)向下移動至卡齒(3)將硅片花籃(7)內(nèi)的若干塊硅片(5)依次橫向分隔開。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)上設(shè)置有自上而下的運(yùn)動滑道(12),所述運(yùn)動滑道(12)的頂部和底部各連通有一定位槽(13)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述壓桿(2)的兩端分別設(shè)置有一限位柱(11),所述限位柱(11)的直徑大于壓桿(2)的直徑,限位柱(11)的直徑大于運(yùn)動滑道(12)的寬度,壓桿(2)的直徑小于運(yùn)動滑道(12)的寬度;所述定位槽(13)為一個縱向直徑大于橫向直徑的橢圓形,壓桿(2)的直徑小于定位槽(13)的橫向直徑,所述壓桿(2)兩端的限位柱(11)分別自位于其兩端的定位槽(13)的圓心處穿過,所述壓桿(2)在運(yùn)動滑道(12)內(nèi)上下滑動并最終限位于任意一個定位槽(13)內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)的下段通過螺釘(10)與硅片花籃(7)的側(cè)壁可拆卸式連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:每組機(jī)械桿(8)均為2根,同組的2根機(jī)械桿(8)連接硅片花籃(7)的同一個側(cè)壁(9)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:若干個卡齒(3)依次等間距的排布于壓桿(2)的底面上。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述硅片(5)放置于硅片花籃(7)內(nèi),且硅片(5)的頂面高于硅片花籃(7)的頂面,所述運(yùn)動滑道(12)底部的定位槽(13)高于硅片花籃(7)的頂面并低于硅片(5)的頂面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述機(jī)械桿(8)上設(shè)置有自上而下的運(yùn)動滑道(12),所述運(yùn)動滑道(12)的頂部至底部依次連通有若干個定位槽(13),位于最底部的定位槽(13)高于硅片花籃(7)的頂面并低于硅片(5)的頂面。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的防貼片的黑硅制絨裝置,其特征在于:所述壓桿(2)的兩端分別設(shè)置有一限位柱(11),所述限位柱(11)的直徑大于壓桿(2)的直徑,限位柱(11)的直徑大于運(yùn)動滑道(12)的寬度,壓桿(2)的直徑小于運(yùn)動滑道(12)的寬度;所述定位槽(13)為一個縱向半徑大于橫向半徑的橢圓形,壓桿(2)的直徑小于定位槽(13)的橫向直徑,所述壓桿(2)兩端的限位柱(11)分別自位于其兩端的定位槽(13)的圓心處穿過,所述壓桿(2)在運(yùn)動滑道(12)內(nèi)上下滑動并最終限位于任意一個定位槽(13)內(nèi)。

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