[發明專利]一種弧形工件激光直接曝光設備

在審

• 申請號: 201910137737.0
• 申請日: 2019-02-25
• 公開（公告）號: CN109782552A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 陳國軍;寧震坤;吳景舟;馬迪
• 申請（專利權）人: 鈞迪智能裝備科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 李宏偉

本發明公開了一種弧形工件激光直接曝光設備，包括機架和曝光組件，機架上擺動安裝有工件吸附組件，該工件吸附組件由擺動裝置驅動，該工件吸附組件的吸附面為圓柱面，吸附面上設置有吸附孔且與負壓裝置連通；曝光組件包括固定于機架上的底座，底座上沿水平X軸方向滑動安裝有X滑座，該X滑座由X動力裝置驅動，X滑座上沿水平Y軸方向滑動安裝有Y滑座，該Y滑座由Y動力裝置驅動，Y滑座上安裝有DMD曝光鏡頭，該DMD曝光鏡頭水平設置且處于圓柱面的水平半徑上，DMD曝光鏡頭朝向吸附面，水平X軸方向與圓柱面的中心軸平行，水平Y軸與DMD曝光鏡頭所在水平半徑平行。該曝光設備可以對工件的圓弧形的內表面進行曝光。

技術領域

本發明涉及一種激光直接曝光設備，尤其涉及一種弧形工件激光直接曝光設備。

背景技術

近來，利用激光進行的直接描畫的技術(Laser Direct Imaging,LDI)，即不需要底片的無光罩曝光方式，正在廣泛地被使用，以取代傳統利用光罩的汞燈曝光模式。此種激光直接曝光方目前還是存在一個缺點，就是激光直接曝光設備一般都是只能對平面的工件表面曝光，而無法對弧形工件的表面曝光。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是：提供一種弧形工件激光直接曝光設備，該曝光設備可以對工件的圓弧形的內表面進行曝光。

為解決上述技術問題，本發明的技術方案是：一種弧形工件激光直接曝光設備，包括機架，所述機架上設置有曝光組件，所述機架上擺動安裝有圓弧形的工件吸附組件，該工件吸附組件由擺動裝置驅動由上料工位擺動至曝光完成工位，該工件吸附組件的吸附面為圓柱面且工件吸附組件的擺動中心與圓柱面的中心軸重合，所述吸附面上設置有吸附孔，該吸附孔與負壓裝置連通；所述曝光組件包括固定于機架上的底座，所述底座上沿水平X軸方向滑動安裝有X滑座，該X滑座由X動力裝置驅動，所述X滑座上沿水平Y軸方向滑動安裝有Y滑座，該Y滑座由Y動力裝置驅動，所述Y滑座上安裝有DMD曝光鏡頭，該DMD曝光鏡頭水平設置且處于圓柱面的水平半徑上，DMD曝光鏡頭朝向吸附面，所述水平X軸方向與圓柱面的中心軸平行，所述水平Y軸與DMD曝光鏡頭所在水平半徑平行。

作為一種優選的方案，所述曝光設備還包括DMD曝光鏡頭校準裝置，該校準裝置包括固定于工件吸附組件上的校準相機，該工件吸附組件擺動到校準工位時該校準相機處于水平位置且與DMD曝光鏡頭對應，所述DMD曝光鏡頭安裝于Z滑座上，該Z滑座沿豎直Z軸滑動安裝于Y滑座上，所述Z滑座由Z動力裝置驅動。

作為一種優選的方案，所述工件吸附組件包括柱面座體，該柱面座體的內表面為90°圓心角的吸附面，所述校準相機設置于柱面座體的一端且DMD曝光鏡頭適配。

作為一種優選的方案，所述機架上安裝有擺動支座，所述擺動支座上安裝有力矩電機，該力矩電機的動力端的旋轉中心位于柱面座體的中心軸上，柱面座體通過擺臂安裝于力矩電機的動力端。

作為一種優選的方案，所述擺臂包括第一擺臂單體和第二擺臂單體，第一擺臂單體的一端和第二擺臂單體的一端分別連接于力矩電機的動力端，第一擺臂單體的另一端和第二擺臂單體的另一端均通過連接軸與柱面座體的兩端連接。

作為一種優選的方案，所述第一擺臂單體的一端和第二擺臂單體之間連接有連接桿。

作為一種優選的方案，所述X動力裝置、Y動力裝置、Z動力裝置均為線性電機。

作為一種優選的方案，所述底座和X滑座之間設置有用于檢測X滑座極限位置的極限位置檢測傳感器。