[發明專利]一種測量微小間距的裝置在審
| 申請號： | 201910134428.8 | 申請日： | 2019-02-23 |
| 公開（公告）號： | CN109682317A | 公開（公告）日： | 2019-04-26 |
| 發明（設計）人： | 黃育爭;趙朋濤;孟驪超;黃飛標;高維科 | 申請（專利權）人： | 西安昂科光電有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/14 | 分類號： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 710000 陜西省西安市高新*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖像處理系統 五角棱鏡 光斑 機械探頭 線陣CCD 接觸式 測量 精密位移裝置 記錄激光 激光器 機械接觸式 個數量級 光路轉折 激光光斑 激光光束 精密位移 同步運動 測量面 探頭 | ||
【權利要求書】：
1.一種測量微小間距的裝置，其特征在于，包括激光器、五角棱鏡、精密位移裝置、機械接觸式探頭、線陣CCD和圖像處理系統，線陣CCD5與圖像處理系統連接，五角棱鏡和接觸式機械探頭連接在一起，并通過精密位移裝置可以同步運動；激光器的激光光束打在五角棱鏡上，光路轉折90°，激光光斑打在線陣CCD上，圖像處理系統記錄激光光斑此時的位置X1；五角棱鏡和接觸式機械探頭前后精密位移，接觸式機械探頭接觸到測量面后停止，此時線陣CCD上的光斑也有相應的位移，圖像處理系統記錄激光光斑此時的位置X2；則測量出的微小間距X＝|X1-X2|。
2.如權利要求1所述的一種測量微小間距的裝置，其特征在于，五角棱鏡可替換成分光棱鏡或者轉折光路的光學元件。
3.如權利要求1所述的一種測量微小間距的裝置，其特征在于，線陣CCD可替換成面陣CCD或其他探測器。
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