[發明專利]一種掩模對準傳感器和光刻機在審
| 申請號： | 201910132647.2 | 申請日： | 2019-02-22 |
| 公開（公告）號： | CN111610699A | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 王麗;顧俊 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備(集團)股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F9/00 | 分類號： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 對準 傳感器 光刻 | ||
1.一種掩模對準傳感器，其特征在于，包括：
標記板，包括標記板底壁和標記板側壁，所述標記板底壁與所述標記板側壁圍成第一凹槽；
傳感器和傳感器板，位于所述第一凹槽內；所述傳感器位于所述傳感器板上，所述傳感器位于所述傳感器板與所述標記板底壁之間；
前放板，位于所述傳感器板遠離所述標記板底壁一側；
屏蔽部件，所述屏蔽部件形成一腔室，所述傳感器、傳感器板以及所述前放板位于所述腔室內；
所述標記板底壁包括透明標記區，所述透明標記區正對所述傳感器的感應面，所述屏蔽部件設置有開口結構，所述開口結構露出所述透明標記區。
2.根據權利要求1所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述屏蔽部件包括屏蔽鍍層和屏蔽盒；所述屏蔽盒與所述屏蔽鍍層形成所述腔室；
所述屏蔽鍍層位于所述第一凹槽的內壁和/或所述第一凹槽的外壁上；所述屏蔽鍍層在所述透明標記區設置有所述開口結構；
所述屏蔽盒至少部分位于所述前放板遠離所述標記板底壁的一側。
3.根據權利要求1所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述屏蔽部件包括屏蔽盒；所述屏蔽盒形成所述腔室；
所述屏蔽盒中位于所述標記板與所述傳感器之間的部分在所述透明標記區設置有所述開口結構。
4.根據權利要求3所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述屏蔽部件還包括屏蔽鍍層，所述屏蔽鍍層位于所述第一凹槽的內壁和/或所述第一凹槽的外壁上；所述屏蔽鍍層在所述透明標記區設置有所述開口結構。
5.根據權利要求3所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述掩模對準傳感器還包括粘結層，所述粘結層位于所述第一凹槽內，且位于所述屏蔽盒與所述標記板之間，用于粘結固定所述屏蔽盒與所述標記板。
6.根據權利要求2或者3所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述屏蔽盒包括金屬材料。
7.根據權利要求1所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述掩模對準傳感器還包括柔性電路板和電流電壓轉換電路；
所述柔性電路板的一端與所述傳感器板綁定電連接，所述柔性電路板的另一端與所述前放板綁定電連接；所述電流電壓轉換電路位于所述傳感器板上。
8.根據權利要求7所述的掩模對準傳感器，其特征在于，所述掩模對準傳感器還包括差分輸出電路，所述差分輸出電路位于所述前放板上，并與所述電流電壓轉換電路電連接。
9.一種光刻機，其特征在于，包括權利要求1-8任一項所述的掩模對準傳感器。
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