[發(fā)明專利]環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置及供液方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910129998.8
• 申請(qǐng)日: 2019-02-21
• 公開（公告）號(hào): CN109759957A
• 公開（公告）日: 2019-05-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 廖德鋒;王乙任;謝瑞清;趙世杰;周煉;陳賢華;張飛虎;張清華;王健;許喬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號(hào): B24B57/02
• 分類號(hào): B24B57/02
• 代理公司: 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 曹鵬飛

1.環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其搭載于環(huán)拋機(jī)上，其特征在于，包括：

供液器(1)，用于儲(chǔ)存、供給拋光液，其設(shè)置于所述環(huán)拋機(jī)外部；

供液管路(2)，所述供液管路(2)與所述供液器(1)可轉(zhuǎn)換連通或截止，且其固定于所述環(huán)拋機(jī)的多工位橋架上；

噴嘴(3)，所述噴嘴(3)包括多個(gè)，按照預(yù)設(shè)間距布置于所述供液管路(2)上，且與所述供液管路(2)可轉(zhuǎn)換連通或截止；

回收桶(4)，所述回收桶(4)連接于環(huán)拋機(jī)的拋光盤底部；

回收泵(5)，所述回收泵(5)通過管路與所述回收桶(4)連通，且與所述供液器(1)可轉(zhuǎn)換連通或截止；

及控制柜(6)，所述供液器(1)、所述噴嘴(3)和所述回收泵(5)均與所述控制柜(6)電性連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述供液器(1)包括儲(chǔ)液桶(11)和供液泵(12)；所述供液泵(12)固定于所述儲(chǔ)液桶(11)上并與其內(nèi)部連通；且所述供液泵(12)的出口與所述供液管路(2)可轉(zhuǎn)換連通或截止，所述供液泵(12)與所述控制柜(6)電性連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液桶(11)為恒溫儲(chǔ)液桶；其內(nèi)部設(shè)置有熱交換管路，外部設(shè)置有控制所述熱交換管路溫度的溫控器(111)；所述溫控器(111)與所述控制柜(6)電性連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液桶(11)中安裝有液位傳感器和溫度傳感器，所述液位傳感器和所述溫度傳感器均與所述控制柜(6)電性連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述儲(chǔ)液桶(11)底部安裝有攪拌器，所述攪拌器與所述控制柜(6)電性連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，每一個(gè)所述噴嘴(3)上均設(shè)置有流量調(diào)節(jié)開關(guān)，所述流量調(diào)節(jié)開關(guān)與所述控制柜(6)電性連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述回收桶(4)頂部具有與其連通的環(huán)形的回收槽(7)，所述回收槽(7)固定于拋光盤周圍。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，還包括清掃隔板(8)，所述清掃隔板(8)連接于拋光盤側(cè)壁與所述拋光盤一起旋轉(zhuǎn)，且可清掃所述回收槽(7)內(nèi)的拋光液。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置，其特征在于，所述回收桶(4)內(nèi)設(shè)置有液位探頭，所述液位探頭與所述控制柜(6)電性連接。

10.環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的環(huán)拋中拋光液的循環(huán)供液裝置安裝于環(huán)拋機(jī)上；

S2、開啟環(huán)拋機(jī)和控制柜；控制柜控制供液器將拋光液經(jīng)供液管路供給至噴嘴中，噴嘴根據(jù)控制柜的指令將拋光液噴射至拋光盤表面；

S4、噴射后的拋光液流入拋光盤周圍，經(jīng)回收桶回收，回收桶中的拋光液經(jīng)回收泵泵回至供液器中循環(huán)利用。