[發(fā)明專利]一種雙氧化組分鋁蝕刻液在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910127787.0 | 申請日： | 2019-02-18 |
| 公開（公告）號： | CN109852970A | 公開（公告）日： | 2019-06-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李少平;張演哲;賀兆波;張庭;蔡步林;萬楊陽;王書萍;馮凱;尹印 | 申請（專利權(quán)）人： | 湖北興福電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/20 | 分類號： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 宜昌市三峽專利事務(wù)所 42103 | 代理人： | 成鋼 |
| 地址： | 443007 湖北*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 蝕刻 鋁蝕刻液 雙氧水 雙氧化劑 濃硝酸 有機酸組成 氧化劑 絡(luò)合作用 時間保持 金屬鋁 均勻性 蝕刻液 無機酸 鈍化 緩沖 刻蝕 消耗 | ||
1.一種雙氧化組分鋁蝕刻液，其特征在于：所述鋁蝕刻液由雙氧化劑、無機酸絡(luò)合劑和有機酸緩沖劑組成；鋁蝕刻液中的雙氧化劑由質(zhì)量分?jǐn)?shù)為68-72%的濃硝酸和質(zhì)量分?jǐn)?shù)為18-22%的雙氧水組成；鋁蝕刻液中的無機酸絡(luò)合劑為鹽酸、磷酸中的任意一種，并優(yōu)選磷酸；鋁蝕刻液中的有機酸緩沖劑為醋酸。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙氧化組分鋁蝕刻液，其特征在于：雙氧化劑中的硝酸在鋁蝕刻液中的重量含量為1%-6%，雙氧水在鋁蝕刻液中的重量含量為0.5%-3%。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙氧化組分鋁蝕刻液，其特征在于：鋁蝕刻液中的無機酸絡(luò)合劑為磷酸。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的雙氧化組分鋁蝕刻液，其特征在于：無機酸絡(luò)合劑中的磷酸是質(zhì)量分?jǐn)?shù)為86-88%的濃磷酸，磷酸在鋁蝕刻液中的重量含量為60%-80%。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙氧化組分鋁蝕刻液，其特征在于：有機酸中的醋酸是質(zhì)量分?jǐn)?shù)為99.5%以上的醋酸，醋酸在鋁蝕刻液中的重量含量為1%-10%。
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