[發(fā)明專利]安裝治具

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910124101.2
• 申請(qǐng)日: 2019-02-19
• 公開（公告）號(hào): CN109702683A
• 公開（公告）日: 2019-05-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳伯廷;吳宗祐;林宗賢
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B25B27/00
• 分類號(hào): B25B27/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

一種安裝治具，應(yīng)用于爐管機(jī)臺(tái)，包括支撐座，所述支撐座直接或間接地安裝于所述爐管機(jī)臺(tái)；所述支撐座上設(shè)置有可調(diào)節(jié)支撐件，所述可調(diào)節(jié)支撐件用于支撐所述爐管機(jī)臺(tái)內(nèi)的至少一個(gè)部件。所述可調(diào)節(jié)支撐件可以對(duì)所述部件形成良好的支撐，分散了所述部件原有連接處的壓力，減小了接觸應(yīng)力，避免了因應(yīng)力過大而造成的斷裂。同時(shí)，因?yàn)樗隹烧{(diào)節(jié)支撐件對(duì)所述部件的支撐，使所述部件能夠安裝并保持在正確的位置上，避免了所述部件安裝不到位或者因晃動(dòng)等原因造成的傾斜，以及因傾斜導(dǎo)致的被其他結(jié)構(gòu)撞壞。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種安裝治具。

背景技術(shù)

爐管機(jī)臺(tái)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要設(shè)備。在半導(dǎo)體器件制造過程中，許多工藝流程都是在高溫下進(jìn)行的，比如用來?yè)诫s離子的熱擴(kuò)散工藝、生長(zhǎng)氧化層的熱氧化工藝、以及用來消除缺陷的退火工藝。這些工藝一般都是在爐管機(jī)臺(tái)內(nèi)完成的。

爐管機(jī)臺(tái)中安裝有多個(gè)長(zhǎng)短不一的石英制部件。其中一些石英部件不易安裝，機(jī)臺(tái)內(nèi)部空間局限，而且安裝角度在視覺上不易判斷，造成了這些石英部件容易安裝不到位，安裝過程中接觸面積多寡不均，再加上本身的材質(zhì)和尺寸問題，有些部件的長(zhǎng)度可達(dá)1300mm之長(zhǎng)，導(dǎo)致了這些石英部件極易損壞，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢。

因此，如何保證石英部件的完整性是急需解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種安裝治具，避免石英部件的斷裂。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種安裝治具，應(yīng)用于爐管機(jī)臺(tái)，包括支撐座，所述支撐座直接或間接地安裝于所述爐管機(jī)臺(tái)；所述支撐座上設(shè)置有可調(diào)節(jié)支撐件，所述可調(diào)節(jié)支撐件用于支撐所述爐管機(jī)臺(tái)內(nèi)的至少一個(gè)部件。

可選的，所述可調(diào)節(jié)支撐件為可調(diào)節(jié)的螺釘、螺栓、按鈕、支撐板或支撐桿。

可選的，所述可調(diào)節(jié)支撐件的其中一端部形狀與所述部件上被支撐部位的外部形狀匹配，用于夾持所述部件。

可選的，所述可調(diào)節(jié)支撐件數(shù)量至少為一個(gè)。

可選的，所述可調(diào)節(jié)支撐件上設(shè)置有保護(hù)層。

可選的，所述保護(hù)層是橡膠軟墊或硅膠軟墊。

可選的，所述可調(diào)節(jié)支撐件垂直設(shè)置于所述支撐座上。

可選的，所述支撐座是圓環(huán)狀的支撐環(huán)或圓筒狀的支撐環(huán)。

可選的，所述部件的形狀是直形的、弧形的、L形的、方形的、或者不規(guī)則形狀。

可選的，所述部件的材質(zhì)為石英或者玻璃。

可選的，所述部件是熱電偶、氣管或氣嘴。

可選的，安裝治具還包括法蘭、內(nèi)管密封圈，所述法蘭安裝在所述爐管機(jī)臺(tái)上，所述內(nèi)管密封圈固定在所述法蘭上，所述支撐座固定在所述內(nèi)管密封圈上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的技術(shù)方案具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本技術(shù)方案中增設(shè)了所述支撐座和所述可調(diào)節(jié)支撐件，所述可調(diào)節(jié)支撐件可以對(duì)所述部件形成良好的支撐，分散了所述部件原有連接處的壓力，減小了接觸應(yīng)力，避免了因應(yīng)力過大而造成的斷裂。同時(shí)，因?yàn)樗隹烧{(diào)節(jié)支撐件對(duì)所述部件的支撐，使所述部件能夠安裝并保持在正確的位置上，避免了所述部件安裝不到位或者因晃動(dòng)等原因造成的傾斜，以及因傾斜導(dǎo)致的被其他結(jié)構(gòu)撞壞的情形。

進(jìn)一步的，所述可調(diào)節(jié)支撐件的其中一端部形狀與所述部件外緣匹配，可以根據(jù)所述部件的形狀結(jié)構(gòu)選用不同的可調(diào)節(jié)支撐件，因而可以滿足不同部件的安裝需求。

進(jìn)一步的，所述可調(diào)節(jié)支撐件上可以設(shè)置保護(hù)層，將所述可調(diào)節(jié)支撐件的本體和所述部件隔離開，從而避免了對(duì)所述部件的額外損傷。

附圖說明