[發明專利]一種“面發射”波導激光器諧振腔的制備方法有效
| 申請號： | 201910113237.3 | 申請日： | 2019-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN109755849B | 公開（公告）日： | 2020-09-01 |
| 發明（設計）人： | 姚一村;張麗強;德特列夫·基普;克里斯汀·埃爾文·豪恩霍斯特;塞吉·索恩索夫;多米內克·布魯斯克;伊娃·法茨格拉夫 | 申請（專利權）人： | 聊城大學 |
| 主分類號： | H01S3/063 | 分類號： | H01S3/063;H01S3/06 |
| 代理公司： | 青島致嘉知識產權代理事務所(普通合伙) 37236 | 代理人： | 李浩成 |
| 地址： | 252059 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 發射 波導 激光器 諧振腔 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種“面發射”波導激光器諧振腔的制備方法，其特征在于，步驟如下：
①在晶體的側面制備三條波導，分別為波導1、波導2和波導3，波導2與波導1和波導3垂直，三條波導相連構成類“之”字形；
②利用精密金剛石刀切割的方法，垂直于該側面，在兩波導交疊形成的正方形區域分別切割形成兩個溝槽作為全反射鏡，全反射鏡與晶體大面的夾角均為45°；
③入射端與出射端的激光腔鏡直接固定在晶片的兩個大面。
2.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，對步驟①的晶體各面進行光學拋光，并清潔表面。
3.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟①的波導2與晶體大面平行 。
4.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟②切割形成的全反射鏡為兩波導交疊形成的正方形對角線。
5.如權利要求1所述的制備方法，其特征在于，所述步驟①中的晶體為Nd:LiNbO3、Yb:YAG、Tm:KLu(WO4)2晶體。
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