[發明專利]驅動器及光掃描裝置

有效

• 申請號: 201910108006.3
• 申請日: 2019-02-02
• 公開（公告）號: CN110187495B
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 山田司
• 申請（專利權）人: 三美電機株式會社
• 主分類號: G02B26/10
• 分類號: G02B26/10;G02B26/08
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 張敬強;李平

1.一種驅動器，其特征在于，具有：

第一驅動梁，其在表面形成有第一驅動源，且設置成能夠將驅動對象物繞第一軸擺動驅動；

第二驅動梁，其具有在表面形成有第二驅動源的、沿垂直于與上述第一軸正交的第二軸的方向延伸的多個梁，相鄰的上述梁的端部彼此通過折回部連結而作為整體具有鋸齒狀波紋結構，且設置成能夠將上述驅動對象物繞上述第二軸擺動驅動；

固定框，其連接于上述第二驅動梁，支撐上述第二驅動梁；

第一肋，其在上述第二驅動梁的背面，對應上述梁與上述折回部的連結位置而形成；

第二肋，其在上述梁的背面，形成于從上述梁與上述折回部的連結位置向上述第二軸側分離的位置，并且在上述第一軸的延伸方向上，上述第二肋比上述第一肋更加靠近上述第二軸；以及

固定部，其從上述固定框的固定框連接部向多個上述梁中的最外梁側伸出，且比上述第二驅動梁重而成為上述第二驅動梁的振動的起點。

2.根據權利要求1所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋形成于多個上述梁中的至少一個。

3.根據權利要求1所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋形成于多個上述梁中的兩個以上的上述梁。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋形成于上述最外梁。

5.根據權利要求4所述的驅動器，其特征在于，

上述最外梁通過與上述固定框連接的固定框連接部連接于上述固定框，

上述第二肋的至少一個形成于上述最外梁的從上述第二軸向固定框連接部側分離的位置。

6.根據權利要求1～3中任一項所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋具有上述第二軸的方向為長邊方向、上述第一軸的方向為短邊方向的形狀。

7.根據權利要求5所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋具有上述第二軸的方向為長邊方向、上述第一軸的方向為短邊方向的形狀。

8.根據權利要求1～3中任一項所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的上述第二軸的方向的長度為上述梁的上述第二軸的方向的寬度的0.5倍以上且1倍以下。

9.根據權利要求5所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的上述第二軸的方向的長度為上述梁的上述第二軸的方向的寬度的0.5倍以上且1倍以下。

10.根據權利要求1～3中任一項所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的上述第二軸的方向的寬度為上述梁的厚度的0.5倍以上且3倍以下。

11.根據權利要求5所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的上述第二軸的方向的寬度為上述梁的厚度的0.5倍以上且3倍以下。

12.根據權利要求1～3中任一項所述的驅動器，其特征在于，

上述第一驅動梁、上述第二驅動梁、上述固定框以及上述第二肋由具有活性層、埋入氧化膜以及支撐層的SOI基板形成。

13.根據權利要求5所述的驅動器，其特征在于，

上述第一驅動梁、上述第二驅動梁、上述固定框以及上述第二肋由具有活性層、埋入氧化膜以及支撐層的SOI基板形成。

14.根據權利要求12所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的高度等于上述支撐層及上述埋入氧化膜的厚度的和。

15.根據權利要求13所述的驅動器，其特征在于，

上述第二肋的高度等于上述支撐層及上述埋入氧化膜的厚度的和。

16.一種光掃描裝置，其特征在于，具有：

反射鏡，其具有光反射面；

反射鏡支撐部，其支撐上述反射鏡；

第一驅動梁，其在表面形成有第一驅動源，且設置成能夠將上述反射鏡支撐部繞第一軸擺動驅動；

第二驅動梁，其具有在表面形成有第二驅動源的、沿垂直于與上述第一軸正交的第二軸的方向延伸的多個梁，相鄰的上述梁的端部彼此通過折回部連結而作為整體具有鋸齒狀波紋結構，且設置成能夠將上述反射鏡支撐部繞上述第二軸擺動驅動；

固定框，其連接于上述第二驅動梁，支撐上述第二驅動梁；

第一肋，其在上述第二驅動梁的背面，對應上述梁與上述折回部的連結位置而形成；

第二肋，其在上述梁的背面，形成于從上述梁與上述折回部的連結位置向上述第二軸側分離的位置，并且在上述第一軸的延伸方向上，上述第二肋比上述第一肋更加靠近上述第二軸；以及

固定部，其從上述固定框的固定框連接部向多個上述梁中的最外梁側伸出，且比上述第二驅動梁重而成為上述第二驅動梁的振動的起點。