[發(fā)明專利]一種曝光機(jī)預(yù)對(duì)位裝置及曝光機(jī)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910106522.2
• 申請(qǐng)日: 2019-02-02
• 公開（公告）號(hào): CN109597284A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王鵬飛;史朋超
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東旭（昆山）顯示材料有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;G03F9/00
• 代理公司: 北京連和連知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11278
• 代理人: 楊帆

1.一種曝光機(jī)預(yù)對(duì)位裝置，其特征在于，包括對(duì)位工作臺(tái)和破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)，其中，所述破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述對(duì)位工作臺(tái)四周，用于檢測(cè)基板是否破片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)感應(yīng)器，多個(gè)所述感應(yīng)器分別設(shè)置在所述對(duì)位工作臺(tái)的兩側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的裝置，其特征在于，所述對(duì)位工作臺(tái)相對(duì)的兩側(cè)分別設(shè)置兩個(gè)所述感應(yīng)器，且四個(gè)所述感應(yīng)器分別對(duì)應(yīng)檢測(cè)基板的四個(gè)角。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，還包括位置調(diào)整裝置，用于調(diào)整所述感應(yīng)器在所述對(duì)位工作臺(tái)側(cè)邊的位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述位置調(diào)整裝置包括分別位于所述對(duì)位工作臺(tái)兩側(cè)，且平行于所述對(duì)位工作臺(tái)側(cè)邊的兩個(gè)導(dǎo)軌，所述感應(yīng)器滑動(dòng)地安裝在所述導(dǎo)軌上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括用于檢測(cè)橫向曝光基板的第一破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)和用于檢測(cè)縱向曝光基板的第二破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于，所述第一破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括位于對(duì)位工作臺(tái)第一側(cè)的第一感應(yīng)器和第二感應(yīng)器，以及位于工作臺(tái)第二側(cè)的第三感應(yīng)器和第四感應(yīng)器；

所述第二破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)包括位于對(duì)位工作臺(tái)第一側(cè)的第五感應(yīng)器和第六感應(yīng)器，以及位于工作臺(tái)第二側(cè)的第七感應(yīng)器和第八感應(yīng)器；

其中，所述第一側(cè)和第二側(cè)為對(duì)位工作臺(tái)的相對(duì)的兩側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括PLC系統(tǒng)，所述PLC系統(tǒng)接收所述破片感應(yīng)機(jī)構(gòu)的信號(hào)，判斷是否破片，當(dāng)判斷為破片時(shí)，進(jìn)行報(bào)警處理，當(dāng)判斷為未破片時(shí)，進(jìn)入下一步程序。

10.一種曝光機(jī)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的曝光機(jī)預(yù)對(duì)位裝置。