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[發(fā)明專利]微粒檢測(cè)器在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 201910102840.1 申請(qǐng)日: 2019-02-01
公開(公告)號(hào): CN110132807A 公開(公告)日: 2019-08-16
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: 菅野京一;奧村英正;水野和幸 申請(qǐng)(專利權(quán))人: 日本礙子株式會(huì)社
主分類號(hào): G01N15/06 分類號(hào): G01N15/06
代理公司: 北京旭知行專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11432 代理人: 王軼;鄭雪娜
地址: 日本國(guó)*** 國(guó)省代碼: 日本;JP
權(quán)利要求書: 查看更多 說(shuō)明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 帶電微粒 剩余電荷 微粒檢測(cè)器 捕集 修正 電荷產(chǎn)生部 個(gè)數(shù)檢測(cè) 氣體流路 電荷 捕集部 除去部 微粒數(shù) 放電 殼體 檢測(cè)
【權(quán)利要求書】:

1.一種微粒檢測(cè)器,其用于檢測(cè)氣體中的微粒,

所述微粒檢測(cè)器的特征在于,具備:

殼體,該殼體具有供所述氣體通過(guò)的氣體流路;

電荷產(chǎn)生部,該電荷產(chǎn)生部將通過(guò)放電而產(chǎn)生的電荷附加給被導(dǎo)入至所述氣體流路內(nèi)的所述氣體中的微粒,使所述微粒成為帶電微粒;

第一捕集部,該第一捕集部在所述氣體流路內(nèi)被設(shè)置于比所述電荷產(chǎn)生部更靠向所述氣體的氣體流的下游側(cè)的位置,并對(duì)未被附加在所述微粒上的剩余電荷進(jìn)行捕集;

第二捕集部,該第二捕集部在所述氣體流路內(nèi)被設(shè)置于比所述第一捕集部更靠向所述氣體的氣體流的下游側(cè)的位置,并對(duì)所述帶電微粒進(jìn)行捕集;以及

檢測(cè)部,該檢測(cè)部基于下述的第一物理量,來(lái)對(duì)下述的第二物理量進(jìn)行修正,并基于修正后的所述第二物理量,來(lái)檢測(cè)所述微粒的量,即,所述第一物理量是根據(jù)所述第一捕集部所捕集到的所述剩余電荷而發(fā)生變化的物理量,所述第二物理量是根據(jù)所述第二捕集部所捕集到的所述帶電微粒而發(fā)生變化的物理量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微粒檢測(cè)器,其特征在于,

所述檢測(cè)部對(duì)由所述電荷產(chǎn)生部產(chǎn)生所述電荷的前后階段所述第一物理量是否發(fā)生了變化進(jìn)行判定,如果所述第一物理量沒(méi)有發(fā)生變化,所述檢測(cè)部則在該時(shí)機(jī)進(jìn)行所述第二物理量的零點(diǎn)修正。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微粒檢測(cè)器,其特征在于,

所述檢測(cè)部在判定由所述電荷產(chǎn)生部產(chǎn)生所述電荷的前后所述第一物理量是否發(fā)生了變化之時(shí),將由所述電荷產(chǎn)生部剛剛產(chǎn)生所述電荷之前的所述第一物理量和如下所述求出的期間內(nèi)的所述第一物理量進(jìn)行比較來(lái)進(jìn)行判定,所述期間是指,預(yù)先在所述氣體的流量為零時(shí)由所述電荷產(chǎn)生部產(chǎn)生所述電荷,然后所述電荷到達(dá)所述第一捕集部所需的期間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任意一項(xiàng)所述的微粒檢測(cè)器,其特征在于,

所述檢測(cè)部基于所述第一物理量,來(lái)求出每1個(gè)所述微粒的帶電數(shù),利用所述帶電數(shù)來(lái)對(duì)所述第二物理量進(jìn)行修正,并基于修正后的所述第二物理量,來(lái)檢測(cè)所述微粒的量。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微粒檢測(cè)器,其特征在于,

所述檢測(cè)部在基于所述第一物理量,來(lái)求出每1個(gè)所述微粒的帶電數(shù)時(shí),使用預(yù)先存儲(chǔ)于存儲(chǔ)部的所述第一物理量、與每1個(gè)所述微粒的帶電數(shù)之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系,來(lái)求出與所述第一物理量相對(duì)應(yīng)的每1個(gè)所述微粒的帶電數(shù)。

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