[發明專利]一種激光能量測量方法及裝置在審
| 申請號： | 201910100579.1 | 申請日： | 2019-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN109781256A | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 田昌勇;王小軍;張元華;楊晶;劉可;李淑軍;彭欽軍;許祖彥 | 申請（專利權）人： | 中國科學院理化技術研究所 |
| 主分類號： | G01J1/56 | 分類號： | G01J1/56 |
| 代理公司： | 北京中政聯科專利代理事務所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 肖佳 |
| 地址： | 100190 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 吸收體 加熱裝置 溫度傳感器 數據采集卡 激光輻照 加熱 測量 激光能量測量裝置 激光輻照能量 激光能量測量 處理器通訊 溫度增量 校準 體內部 處理器 激光 檢測 吸收 | ||
1.一種激光能量測量裝置，包括吸收體(1)、溫度傳感器(2)、加熱裝置(3)、數據采集卡(4)及處理器(5)；
所述加熱裝置(3)設置在所述吸收體(1)內部；
所述數據采集卡(4)分別與所述溫度傳感器(2)和所述處理器(5)通訊連接；
所述溫度傳感器(2)用于測量所述吸收體(1)受到激光輻照引起各個位置的溫度增量，所述加熱裝置(3)用于加熱所述吸收體(1)。
2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述吸收體(1)為感光金屬或感光液體。
3.根據權利要求2所述的裝置，其特征在于，所述感光金屬為銅、金及鍍石墨銅其中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(2)為接觸式傳感器或非接觸式傳感器。
5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述溫度傳感器(2)為熱電偶、熱敏電阻、電阻溫度檢測器或IC溫度傳感器(2)其中的一種。
6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述吸收體(1)為多個，且每個所述吸收體(1)均設置有加熱裝置(3)；
多個所述吸收體(1)為陣列排布。
7.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述加熱裝置(3)為硅碳加熱棒、不銹鋼加熱棒、硅鉬加熱棒或電阻絲加熱棒其中的一種。
8.根據權利要求1-7任一項所述的裝置，其特征在于，還包括測量支撐裝置；
所述測量支撐裝置用于支撐所述吸收體(1)。
9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，所述測量支撐裝置的材料為不銹鋼或鈦合金。
10.一種激光能量測量方法，其特征在于，包括
利用吸收體(1)吸收激光輻照，得到待測吸收體(1)；
檢測所述待測吸收體(1)的溫度增量，等效獲得所述吸收體(1)吸收激光的能量；
加熱所述吸收體(1)，獲得相同溫度增量，得到所述吸收體(1)吸收的能量校準值；
通過耦合系數修正，得到激光能量。
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