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[發明專利]切片方法及切片裝置在審

專利信息
申請號: 201910097785.1 申請日: 2019-01-31
公開(公告)號: CN110102882A 公開(公告)日: 2019-08-09
發明(設計)人: 北村嘉朗;藤原和樹;住本勝兒;大森健志 申請(專利權)人: 松下電器產業株式會社
主分類號: B23K26/082 分類號: B23K26/082;B23K26/0622;B23K26/06;B23K26/38;B23K26/70
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 劉曉迪
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 被加工材料 改質層 熔點 切片裝置 切片 熔融 分離夾具 分離裝置 激光聚光 加熱改質 加熱裝置
【權利要求書】:

1.一種切片方法,其特征在于,包括:

通過在低于被加工材料的熔點且由激光聚光而形成的所述被加工材料的改質層的熔點以上的溫度下加熱所述改質層,使所述改質層熔融的改質層熔融工序;以及

以熔融了的所述改質層為邊界,分離所述被加工材料的分離工序。

2.如權利要求1所述的切片方法,其中,

所述改質層的厚度大于所述被加工材料的未改質層的表面粗糙度。

3.如權利要求1或2所述的切片方法,其中,

在所述分離工序中,在與所述激光的掃描方向平行的方向上分離所述被加工材料。

4.如權利要求1所述的切片方法,其中,

所述激光的脈沖寬度為0.2皮秒以上且100皮秒以下。

5.如權利要求4所述的切片方法,其中,

所述激光具有相對于所述被加工材料的透過率為50%以上的波長。

6.一種切片裝置,其特征在于,具有:

通過在低于被加工材料的熔點且由激光聚光而形成的所述被加工材料的改質層的熔點以上的溫度下加熱所述改質層,使所述改質層熔融的加熱部;以及

以熔融了的所述改質層為邊界,分離所述被加工材料的分離部。

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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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