[發(fā)明專利]數(shù)據(jù)處理方法、數(shù)據(jù)處理裝置及記錄介質

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910097340.3
• 申請日: 2019-01-31
• 公開（公告）號: CN110134536B
• 公開（公告）日: 2023-07-18
• 發(fā)明（設計）人: 猶原英司;山本麻友美
• 申請（專利權）人: 株式會社斯庫林集團
• 主分類號: G06F11/00
• 分類號: G06F11/00;G06F11/26
• 代理公司: 隆天知識產(chǎn)權代理有限公司 72003
• 代理人: 向勇

1.一種數(shù)據(jù)處理方法，處理由基板處理裝置得到的根據(jù)所述基板處理裝置的控制信號而變化的時序數(shù)據(jù)，其特征在于，

所述數(shù)據(jù)處理方法包括：

期間設定步驟，對所述時序數(shù)據(jù)求取從初始水平變?yōu)槟繕怂降纳仙陂g、保持所述目標水平的穩(wěn)定期間、以及從所述目標水平變?yōu)樗龀跏妓降南陆灯陂g，

評價值計算步驟，求取所述時序數(shù)據(jù)的評價值，以及

評價值判定步驟，基于所述時序數(shù)據(jù)的評價值，判斷在所述基板處理裝置中基板是否被正常處理；

在所述評價值計算步驟中，求取所述上升期間的評價值、所述穩(wěn)定期間的評價值、以及所述下降期間的評價值作為所述時序數(shù)據(jù)的評價值。

2.根據(jù)權利要求1所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值判定步驟中，針對所述上升期間、所述穩(wěn)定期間以及所述下降期間的各期間，通過分別比較在所述評價值計算步驟中求取的所述評價值與所述評價值的閾值來判斷所述評價值。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述期間設定步驟中，求取從所述控制信號變化起至所述時序數(shù)據(jù)收斂至包括所述目標水平的第一范圍內的期間作為所述上升期間，求取從所述控制信號變化起至所述時序數(shù)據(jù)收斂至包括所述初始水平的第二范圍內的期間作為所述下降期間，求取所述上升期間與所述下降期間之間的期間作為所述穩(wěn)定期間。

4.根據(jù)權利要求3所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，求取所述上升期間的長度作為所述上升期間的評價值，求取所述下降期間的長度作為所述下降期間的評價值。

5.根據(jù)權利要求3所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，求取所述時序數(shù)據(jù)的過沖量作為所述上升期間的評價值。

6.根據(jù)權利要求3所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，求取所述穩(wěn)定期間內的時序數(shù)據(jù)的統(tǒng)計值作為所述穩(wěn)定期間的評價值。

7.根據(jù)權利要求3所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，通過將所述時序數(shù)據(jù)與基準數(shù)據(jù)進行比較來求取所述時序數(shù)據(jù)的評價值。

8.根據(jù)權利要求7所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，在所述時序數(shù)據(jù)與所述基準數(shù)據(jù)之間使數(shù)據(jù)最初開始變化的時機一致之后，將所述時序數(shù)據(jù)與所述基準數(shù)據(jù)進行比較。

9.根據(jù)權利要求7所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

所述基準數(shù)據(jù)是其他時序數(shù)據(jù)。

10.根據(jù)權利要求7所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述評價值計算步驟中，進行多次使所述時序數(shù)據(jù)與所述基準數(shù)據(jù)中的一種數(shù)據(jù)沿時間軸方向移動規(guī)定量并將所述時序數(shù)據(jù)與所述基準數(shù)據(jù)進行比較的處理，并且求取所得到的多個評價值中的最小值作為所述時序數(shù)據(jù)的評價值。

11.根據(jù)權利要求3所述的數(shù)據(jù)處理方法，其特征在于，

在所述時序數(shù)據(jù)具有多個目標水平的情況下，在所述期間設定步驟中，對所述時序數(shù)據(jù)還求取從舊目標水平變?yōu)樾履繕怂降倪^渡期間，

在所述評價值計算步驟中，還求取所述過渡期間的評價值作為所述時序數(shù)據(jù)的評價值。