[發明專利]具有涂覆層的金剛石合成用襯底及金剛石合成系統在審
| 申請號： | 201910095772.0 | 申請日： | 2019-01-31 |
| 公開（公告）號： | CN109913947A | 公開（公告）日： | 2019-06-21 |
| 發明（設計）人： | 黃翀;彭國令 | 申請（專利權）人： | 長沙新材料產業研究院有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/04 | 分類號： | C30B29/04;C30B25/18 |
| 代理公司： | 武漢智匯為專利代理事務所(普通合伙) 42235 | 代理人： | 李恭渝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 樣品安裝 籽晶 安裝槽 粗糙度 襯底 金剛石合成系統 金剛石合成 反應腔 金剛石 涂覆層 多晶 批量生產過程 固定金剛石 襯底表面 出氣系統 鍍層表面 進氣系統 微波耦合 真空系統 生長 粗糙化 微波源 鍍覆 薄膜 | ||
1.一種具有涂覆層的金剛石合成用襯底，用于放置金剛石合成用的籽晶，其特征在于：
至少包含一個樣品安裝表面，樣品安裝表面上有多個籽晶安裝槽，樣品安裝表面的粗糙度大于籽晶安裝槽底面的粗糙度。
2.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
其中，所述樣品安裝表面的粗糙度為底面的2倍以上。
3.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
其中，所述樣品安裝表面的粗糙度為大于Ra 25。
4.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
其中，所述樣品安裝表面的粗糙度為大于Ra 100。
5.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
所述襯底包括襯底基底，襯底基底上有第一表面，
其中，在所述第一表面部分覆蓋有涂覆層，
所述涂覆層表面粗糙度大于未被涂覆層覆蓋的第一表面的粗糙度。
6.根據權利要求5所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
其中，所述涂覆層與未被涂覆層覆蓋的第一表面圍成了多個籽晶安裝槽。
7.根據權利要求5所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：
其中，所述涂覆層為至少能承受900℃高溫而不會脫離接觸面而翹曲的材質。
8.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：其中，所述涂覆層的材質為Mo、W或其合金中的一種。
9.根據權利要求1所述的具有涂覆層的金剛石合成用襯底，其特征在于：其中，所述籽晶的高度與鍍層差±0.1mm。
10.一種金剛石合成系統，其特征在于，包括：
微波源；
微波耦合系統；
帶有進氣系統、出氣系統的反應腔；
與反應腔連接的真空系統；
位于反應腔內的權利要求1-9中任意一項所述的襯底。
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