[發(fā)明專利]磁存儲(chǔ)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910095435.1
• 申請(qǐng)日: 2019-01-31
• 公開（公告）號(hào): CN110875422A
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 渡邊大輔;永瀨俊彥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東芝存儲(chǔ)器株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L43/08
• 分類號(hào): H01L43/08;G11C11/16
• 代理公司: 北京市中咨律師事務(wù)所 11247
• 代理人: 徐健;段承恩

實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置具備磁阻效應(yīng)元件。上述磁阻效應(yīng)元件包括第1鐵磁性體、第2鐵磁性體、上述第1鐵磁性體與上述第2鐵磁性體之間的第1非磁性體、相對(duì)于上述第1鐵磁性體而位于與上述第1非磁性體相反側(cè)的第2非磁性體、相對(duì)于上述第2非磁性體而位于與上述第1鐵磁性體相反側(cè)的第3非磁性體。上述第2非磁性體包含稀土類氧化物，上述第3非磁性體包含釕(Ru)或者鉬(Mo)。

本申請(qǐng)享受以日本專利申請(qǐng)2018－163553號(hào)(申請(qǐng)日：2018年8月 31日)為基礎(chǔ)申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)。本申請(qǐng)通過參照該基礎(chǔ)申請(qǐng)而包含基礎(chǔ)申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容。

技術(shù)領(lǐng)域

實(shí)施方式主要涉及磁存儲(chǔ)裝置。

背景技術(shù)

已知具有磁阻效應(yīng)元件的磁存儲(chǔ)裝置。

發(fā)明內(nèi)容

實(shí)施方式提供一種能夠提高隧道磁阻比及磁各向異性的磁存儲(chǔ)裝置。

實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置具備磁阻效應(yīng)元件。上述磁阻效應(yīng)元件包括第1鐵磁性體、第2鐵磁性體、上述第1鐵磁性體與上述第2鐵磁性體之間的第1非磁性體、相對(duì)于上述第1鐵磁性體而位于與上述第1非磁性體相反側(cè)的第2非磁性體、相對(duì)于上述第2非磁性體而位于與上述第1鐵磁性體相反側(cè)的第3非磁性體。上述第2非磁性體包含稀土類氧化物，上述第 3非磁性體包含釕(Ru)或者鉬(Mo)。

附圖說明

圖1是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的構(gòu)成的框圖。

圖2是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)單元陣列的構(gòu)成的電路圖。

圖3是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)單元陣列的構(gòu)成的斷面圖。

圖4是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的構(gòu)成的斷面圖。

圖5是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的制造方法的示意圖。

圖6是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的制造方法的示意圖。

圖7是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的制造方法的示意圖。

圖8是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的組成的圖。

圖9是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的制造方法的示意圖。

圖10是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的磁各向異性的圖。

圖11是用于說明第1實(shí)施方式的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的隧道磁阻比的圖。

圖12是用于說明第1變形例的磁存儲(chǔ)裝置的磁阻效應(yīng)元件的構(gòu)成的斷面圖。

圖13是用于說明第2變形例的磁存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)單元陣列的構(gòu)成的電路圖。

圖14是用于說明第2變形例的磁存儲(chǔ)裝置的存儲(chǔ)單元的構(gòu)成的斷面圖。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)實(shí)施方式進(jìn)行說明。此外，在以下的說明中，對(duì)具有相同功能及構(gòu)成的構(gòu)成要素標(biāo)記共同的附圖標(biāo)記。另外，在對(duì)具有共同的附圖標(biāo)記的多個(gè)構(gòu)成要素進(jìn)行區(qū)別的情況下，對(duì)該共同的附圖標(biāo)記添加標(biāo)號(hào)來進(jìn)行區(qū)別。此外，在對(duì)多個(gè)構(gòu)成要素不需要特別區(qū)別的情況下，在該多個(gè)構(gòu)成要素僅標(biāo)記共同的附圖標(biāo)記，不添加標(biāo)號(hào)。在此，標(biāo)號(hào)不限于下標(biāo)文字、上標(biāo)文字，例如包括在附圖標(biāo)記的末尾添加的小文字的字母 (alphabet)及意味著排列的索引等。

1.第1實(shí)施方式