[發明專利]一種柔性OLED器件及其制備方法

在審

• 申請號: 201910093582.5
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN109817817A
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 王一佳;汪衎
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

1.一種柔性OLED器件，包括依次設置的基板、陣列單元層、發光器件層和封裝層，其中所述封裝層包括依次設置的第一無機層、第一有機層和第二無機層；其特征在于，

其中所述第一無機層將所述發光器件層包裹于內并在兩側端與所述陣列單元層相接；

其中所述第一有機層設置在所述第一無機層上，并同樣將所述發光器件層包裹于其內；

其中所述第二無機層將所述第一有機層包裹于內并在所述第一有機層兩側部外與所述第一無機層相接；

其中所述第二無機層為一種連續的波浪狀起伏彎曲構型，其與所述第一有機層間的相接面為一種連續的波浪狀起伏曲面形狀。

2.根據權利要求1所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第一有機層的膜層熱應力值S1與所述第二無機層的膜層熱應力值S2之間存在應力差，并且由于所述第一有機層和第二無機層之間的膜層熱應力值差的存在，使得所述第二無機層在制備過程中自發為彎曲構型，并進而使得其與所述第一有機層間的相接面自發的成為所述連續的波浪狀起伏曲面形狀。

3.根據權利要求2所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第一有機層的膜層熱應力值大于所述第二無機層的膜層熱應力值。

4.根據權利要求2所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第一有機層的膜層熱應力值S1在-10～10Mpa范圍內。

5.根據權利要求2所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第二無機層的膜層熱應力值S2<-20Mpa。

6.根據權利要求1所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第二無機層上設置有光學膠層，用于填平所述第二無機層的表面彎曲構型。

7.根據權利要求1所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述封裝層還包括設置在所述第二無機層上的第二有機層和第三無機層，其中所述第三無機層為彎曲構型，其與所述第二有機層間的相接面也為一種連續的波浪狀起伏曲面形狀。

8.根據權利要求1所述的柔性OLED器件，其特征在于，其中所述第一無機層的厚度為0.1～10μm，其中所述第一有機層的厚度為1～100μm，其中所述第二無機層的厚度為0.1～10μm。

9.一種用于制備根據權利要求1所述的柔性OLED器件的制備方法，其特征在于，其包括以下步驟：

在一基板上依次制備陣列單元層和發光器件層；

在所述發光器件層上制備封裝層中的第一無機層，其將所述發光器件層包裹于其內；

在所述第一無機層上制備所述第一有機層，其將所述發光器件層包裹于其內，但其側部外還存有所述第一無機層；

在所述第一有機層上方設置所述第二無機層，其將所述第一有機層包裹于其內，并在所述第一有機層的側部外與所述第一無機層相接；

其中制備出的所述第一有機層和所述第二無機層在熱應力值上存有差值，因而使得所述第二無機層在制備過程中形成一種連續的波浪狀起伏的彎曲構型，進而使得其與所述第一有機層間的相接面為一種連續的波浪狀起伏曲面形狀。

10.根據權利要求9所述的柔性OLED器件的制備方法，其特征在于，其中所述第一有機層的制備工藝為PECVD制程，其中包括的反應氣體包括一種含氧氣體和一種含Si氣體；其中所述含Si氣體與含O氣體流量比例呈分步梯度變化。