[發(fā)明專利]切斷裝置、切斷方法及切斷板

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910087138.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN110176396A
• 公開（公告）日: 2019-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 村上健二;田村健太;榮田光希;武田真和
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01L21/304
• 分類號(hào): H01L21/304;H01L21/78;H01L21/67
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

1.一種切斷裝置，其是將在一個(gè)主表面設(shè)置有多個(gè)焊錫球的帶有焊錫球的基板沿著設(shè)置在所述一個(gè)主表面的槽部切斷的裝置，其特征在于，具有：

載物臺(tái)，其以所述一個(gè)主表面一側(cè)為上側(cè)的方式將所述帶有焊錫球的基板以水平姿態(tài)載置；以及

薄板狀的切斷板，其以一個(gè)端部具有的刀刃成為下端部的垂直姿態(tài)而升降自由地設(shè)置，

從使所述刀刃抵接于所述槽部的狀態(tài)起，通過朝向所述帶有焊錫球的基板以規(guī)定的壓入量壓入所述切斷板，從而在所述槽部的形成位置對(duì)所述帶有焊錫球的基板進(jìn)行切斷，

在所述切斷板中，包含所述刀刃的刃部從具有規(guī)定的厚度的基部的一個(gè)端部延伸而成并且設(shè)置為比所述基部寬度窄，

所述刃部的厚度比壓入所述切斷板時(shí)的所述槽部的剖面中心與所述焊錫球的距離的最小值的2倍小。

2.一種切斷方法，將在一個(gè)主表面設(shè)置有多個(gè)焊錫球的帶有焊錫球的基板沿著設(shè)置在所述一個(gè)主表面的槽部切斷，其特征在于，具有：

以所述一個(gè)主表面一側(cè)為上側(cè)的方式將所述帶有焊錫球的基板以水平姿態(tài)載置的工序，以及

將一個(gè)端部具有刀刃的薄板狀的切斷板設(shè)為所述刀刃成為下端部的垂直姿態(tài)，從使所述刀刃抵接于所述槽部后，通過朝向所述帶有焊錫球的基板以規(guī)定的壓入量壓入所述切斷板，從而在所述槽部的形成位置對(duì)所述帶有焊錫球的基板進(jìn)行切斷的工序，

作為所述切斷板使用如下切斷板，包含所述刀刃的刃部從具有規(guī)定的厚度的基部的一個(gè)端部延伸而成并且設(shè)置為比所述基部寬度窄，所述刃部的厚度比壓入所述切斷板時(shí)的所述槽部的剖面中心與所述焊錫球的距離的最小值的2倍小。

3.一種切斷板，在將在一個(gè)主表面設(shè)置有多個(gè)焊錫球的帶有焊錫球的基板沿著設(shè)置在所述一個(gè)主表面的槽部切斷時(shí)使用，其特征在于，

其呈薄板狀，并在一個(gè)端部具有刀刃，

在所述刀刃成為下端部的垂直姿態(tài)下，在使所述刀刃抵接于以所述一個(gè)主表面一側(cè)為上側(cè)的方式設(shè)成水平姿態(tài)的所述帶有焊錫球的基板的所述槽部之后，通過朝向所述帶有焊錫球的基板以規(guī)定的壓入量壓入所述切斷板，從而能夠在所述槽部的形成位置對(duì)所述帶有焊錫球的基板進(jìn)行切斷，

包含所述刀刃的刃部從具有規(guī)定厚度的基部的一個(gè)端部延伸而成并且設(shè)置為比所述基部寬度窄，

所述刃部的厚度比壓入所述切斷板時(shí)的所述槽部的剖面中心與所述焊錫球的距離的最小值的2倍小。