[發(fā)明專利]可撓式陣列基板及其制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910086575.2
• 申請(qǐng)日: 2019-01-29
• 公開（公告）號(hào): CN109712932B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡克龍;柯聰盈;陳勇志;王萬倉;劉俊欣
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 友達(dá)光電股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/77
• 分類號(hào): H01L21/77;H01L27/12;H01L27/32
• 代理公司: 隆天知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 72003
• 代理人: 黃艷

1.一種可撓式陣列基板的制造方法，包含：

形成一第一可撓層于一第一基底；

形成多條第一導(dǎo)線材料層于該第一可撓層上；

分離該第一可撓層與該第一基底使得所述第一導(dǎo)線材料層分別轉(zhuǎn)為多條第一立體導(dǎo)線；

將該第一可撓層以及所述第一立體導(dǎo)線設(shè)置于一第一載板上；

形成一第一絕緣層于所述第一立體導(dǎo)線上；

于該第一絕緣層形成多個(gè)第一接觸洞以連接所述第一立體導(dǎo)線；

形成一第二可撓層于一第二基底；

形成多條第二導(dǎo)線材料層于該第二可撓層上；

分離該第二可撓層與該第二基底使得所述第二導(dǎo)線材料層分別轉(zhuǎn)為多條第二立體導(dǎo)線；

將該第二可撓層設(shè)置于一第二載板；

形成一第二絕緣層于所述第二立體導(dǎo)線上；

于該第二絕緣層形成多個(gè)第二接觸洞分別連接所述第一接觸洞；

接合該第一絕緣層及該第二絕緣層使得所述第一立體導(dǎo)線與所述第二立體導(dǎo)線相對(duì)設(shè)置；

移除該第二載板；

于該第二可撓層形成多個(gè)第三接觸洞以連接所述第二立體導(dǎo)線；

形成一離形層及一主動(dòng)元件陣列于一第三基底上；

接合該主動(dòng)元件陣列及該第二可撓層；以及

移除該第三基底，其中該主動(dòng)元件陣列電性連接對(duì)應(yīng)的該第一立體導(dǎo)線與該第二立體導(dǎo)線。

2.如權(quán)利要求1所述的可撓式陣列基板的制造方法，其中各該第一立體導(dǎo)線具有多個(gè)第一波峰及多個(gè)第一波谷，各該第二立體導(dǎo)線具有多個(gè)第二波峰及多個(gè)第二波谷，所述第一波谷分別對(duì)應(yīng)所述第一接觸洞的位置，所述第二波谷分別對(duì)應(yīng)所述第三接觸洞的位置。

3.如權(quán)利要求1所述的可撓式陣列基板的制造方法，其中各該第一立體導(dǎo)線與各該第二立體導(dǎo)線的耐拉伸應(yīng)變量大于或等于200％，各該第一立體導(dǎo)線與各該第二立體導(dǎo)線的厚度0.1微米至5微米，且各該第一立體導(dǎo)線與各該第二立體導(dǎo)線的線寬為1微米至200微米。

4.如權(quán)利要求1所述的可撓式陣列基板的制造方法，還包含：

于形成所述第三接觸洞的同時(shí)，于該第二可撓層形成多個(gè)第四接觸洞分別連接對(duì)應(yīng)的第二接觸洞以及對(duì)應(yīng)的第一接觸洞以構(gòu)成多個(gè)通孔，其中該主動(dòng)元件陣列通過所述通孔分別電性連接于所述第一立體導(dǎo)線；

形成一有機(jī)發(fā)光二極管陣列于該主動(dòng)元件陣列上；以及

分離該第一可撓層以及該第一載板。

5.如權(quán)利要求1所述的可撓式陣列基板的制造方法，其中形成各該第一導(dǎo)線材料層與各該第二導(dǎo)線材料層的方法為噴墨印刷法，且各該第一導(dǎo)線材料層與各該第二導(dǎo)線材料層的材料包含鉬或銀。

6.如權(quán)利要求2所述的可撓式陣列基板的制造方法，其中于形成各該第一導(dǎo)線材料層的步驟前，對(duì)該第一可撓層進(jìn)行一表面處理以形成多個(gè)強(qiáng)接合區(qū)以及至少一弱接合區(qū)，各所述強(qiáng)接合區(qū)分別對(duì)應(yīng)所述第一波谷。

7.一種可撓式陣列基板，包含：

一第一可撓層；

多條第一立體導(dǎo)線設(shè)置于該第一可撓層上；

一第一絕緣層設(shè)置于該第一可撓層上，覆蓋所述第一立體導(dǎo)線；

一第二可撓層設(shè)置于該第一絕緣層上；

多條第二立體導(dǎo)線，位于該第二可撓層與該第一絕緣層之間；

一第二絕緣層設(shè)置于該第二可撓層與該第一絕緣層之間；以及

一主動(dòng)元件陣列設(shè)置于該第二可撓層上，且該主動(dòng)元件陣列電性連接對(duì)應(yīng)的該第一立體導(dǎo)線與該第二立體導(dǎo)線，

其中該主動(dòng)元件陣列包含多個(gè)薄膜晶體管，各該薄膜晶體管包含一柵極以及一源極，該可撓式陣列基板還包含一離形層，其中該主動(dòng)元件陣列設(shè)置于該第二可撓層以及該離形層之間，該第一絕緣層具有多個(gè)第一接觸洞，該第二絕緣層具有多個(gè)第二接觸洞，該第二可撓層具有多個(gè)第三接觸洞以及多個(gè)第四接觸洞，其中彼此對(duì)應(yīng)的所述第一接觸洞、所述第二接觸洞以及所述第四接觸洞構(gòu)成多個(gè)通孔，其中各該柵極通過對(duì)應(yīng)的所述通孔電性連接對(duì)應(yīng)的所述第一立體導(dǎo)線，各該源極通過對(duì)應(yīng)的所述第三接觸洞電性連接對(duì)應(yīng)的所述第二立體導(dǎo)線。