[發明專利]激光檢測系統

在審

• 申請號: 201910085815.7
• 申請日: 2019-01-29
• 公開（公告）號: CN109738420A
• 公開（公告）日: 2019-05-10
• 發明（設計）人: 潘從元;李朝陽;安寧;徐勇;查振春
• 申請（專利權）人: 合肥金星機電科技發展有限公司;安徽創譜儀器科技有限公司
• 主分類號: G01N21/73
• 分類號: G01N21/73;G01N21/01
• 代理公司: 合肥誠興知識產權代理有限公司 34109
• 代理人: 湯茂盛

本發明公開了一種激光檢測系統，包括激光源、二向色鏡以及聚焦鏡組，激光源與二向色鏡之間設置有反射鏡，二向色鏡的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源發出的激光束依次經過反射鏡、二向色鏡、聚焦鏡組聚焦至樣品表面，燒蝕產生的等離子體信號經由聚焦鏡組、二向色鏡反射至分析單元。上述方案通過反射鏡的設置，當激光源發出的激光束經過二向色鏡后發生偏移時，只需要調整反射鏡的反射角度就可以將二向色鏡透射后的激光束校正回預定光路上，這樣就不需要對二向色鏡以及聚焦鏡組進行調整，使得調節十分方便。

技術領域

本發明涉及激光檢測技術領域，具體涉及一種光路易調節的遠程激光檢測系統。

背景技術

在冶金行業，冶金熔體出爐時需要進行成分檢測，以便判定當前產物是否合格，并確定是否與后續流程工藝吻合，指導相關物料配比設置。

目前熔體成分檢測大多采用離線實驗室化驗方法，需要經過人工取樣、送樣到化驗室、人工制樣和化驗分析等流程。整個過程不僅需要耗費大量時間，還需要耗費一定的人力，且檢測的實時性差，無法為實時工藝控制提供指導。

發明內容

本發明的目的是提供一種適用于熔體成分在線檢測的激光檢測系統，結構簡單，調節方便。

為實現上述目的，本發明的技術方案是：一種激光檢測系統，包括激光源、二向色鏡以及聚焦鏡組，激光源與二向色鏡之間設置有反射鏡，二向色鏡的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源發出的激光束依次經過反射鏡、二向色鏡、聚焦鏡組聚焦至熔體表面，燒蝕產生的等離子體信號經由聚焦鏡組、二向色鏡反射至分析單元。

采用上述技術方案的有益效果是：通過反射鏡的設置，當激光源發出的激光束經過二向色鏡后發生偏移時，只需要調整反射鏡的反射角度就可以將二向色鏡透射后的激光束校正回預定光路上，這樣就不需要對二向色鏡以及聚焦鏡組進行調整，使得調節十分方便。

附圖說明

圖1是本發明的系統示意圖。

具體實施方式

結合附圖，一種激光檢測系統，包括激光源10、二向色鏡20以及聚焦鏡組30，激光源10與二向色鏡20之間設置有反射鏡40，二向色鏡20的鏡面與其入射光呈夾角式布置，激光源10發出的激光束依次經過反射鏡40、二向色鏡20、聚焦鏡組30聚焦至樣品A表面，燒蝕產生的等離子體信號經由聚焦鏡組30、二向色鏡20反射至分析單元。本發明的核心是通過反射鏡的設置，當激光源發出的激光束經過二向色鏡后發生偏移時，只需要調整反射鏡的反射角度就可以將二向色鏡透射后的激光束校正回預定光路上，這樣就不需要對二向色鏡以及聚焦鏡組進行調整，使得調節十分方便。

優選的，所述反射鏡40包括第一反射鏡41和第二反射鏡42，第一反射鏡41和第二反射鏡42的鏡面垂直布置，激光束依次經第一反射鏡41和第二反射鏡42反射至二向色鏡20上。通過將第一反射鏡41和第二反射鏡42鏡面垂直布置，不僅能夠對激光源10發出的激光束進行換向，還能保證激光源10發出的激光束與照射到二向色鏡20上的激光束反向平行，這樣就可以將激光源10布置在二向色鏡20以及聚焦鏡組30的旁側，充分利用了二向色鏡20以及聚焦鏡組30的旁側空間，避免系統過于冗長，使得各元器件的布置更加緊湊。

進一步的，聚焦鏡組30包括沿激光束照射方向順序布置的凹面反射鏡31和凸面反射鏡32，凹面反射鏡31的中部開設有的中心孔311，凹面反射鏡31的反射凹面312與凸面反射鏡32的反射凸面321相對布置，激光束穿過中心孔311經凸面反射鏡32的反射凸面321、凹面反射鏡31的反射凹面312聚焦至樣品A表面。具體的，利用凸面反射鏡32讓激光束折返再通過凹面反射鏡31來聚焦，在保證聚焦效果的同時使得整體結構更加緊湊、合理。