[發(fā)明專利]一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910085688.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-01-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109683224B | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 王波云;余華清;熊良斌;曾慶棟;杜君;呂昊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 湖北工程學(xué)院 |
| 主分類號(hào)： | G02B5/28 | 分類號(hào)： | G02B5/28;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 楊彩蘭 |
| 地址： | 432000 *** | 國(guó)省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 pit 效應(yīng) 通道 光學(xué) 濾波器 | ||
1.一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，包括二氧化硅襯底(1)、金屬層(2)、石墨烯層(3)、兩個(gè)第一諧振腔(4)、第二諧振腔(5)、第三諧振腔(6)、第四諧振腔(7)和第五諧振腔(8)，所述二氧化硅襯底(1)水平設(shè)置，所述金屬層(2)水平設(shè)置在所述二氧化硅襯底(1)的上端，所述金屬層(2)上端設(shè)有沿前后方向延伸的條形波導(dǎo)(9)，所述波導(dǎo)(9)的兩端分別水平延伸至所述金屬層(2)的前后兩端，兩個(gè)所述第一諧振腔(4)分別沿前后方向間隔設(shè)置在所述金屬層(2)的上端，并分別位于所述波導(dǎo)(9)的左右兩側(cè)，兩個(gè)所述第一諧振腔(4)均與所述波導(dǎo)(9)連通，所述石墨烯層(3)設(shè)置在兩個(gè)所述第一諧振腔(4)之間，并填充在所述波導(dǎo)(9)內(nèi)，所述第二諧振腔(5)和所述第三諧振腔(6)分別設(shè)在位于所述金屬層(2)上端前方的所述第一諧振腔(4)的前后兩側(cè)，所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)分別設(shè)在位于所述金屬層(2)上端后方的所述第一諧振腔(4)的前后兩側(cè)，所述第二諧振腔(5)、所述第三諧振腔(6)、所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)內(nèi)均填充有光學(xué)材料，所述波導(dǎo)(9)內(nèi)填充有空氣。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述第一諧振腔(4)、所述第二諧振腔(5)、所述第三諧振腔(6)、所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)均為矩形腔，其中，所述第一諧振腔(4)的長(zhǎng)度方向沿左右方向設(shè)置，且位于所述金屬層(2)上端前方的所述第一諧振腔(4)的右端與所述波導(dǎo)(9)連通，位于所述金屬層(2)上端后方的所述第一諧振腔(4)的左端與所述波導(dǎo)(9)連通，所述第二諧振腔(5)、所述第三諧振腔(6)、所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)的長(zhǎng)度方向均沿前后方向設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述第二諧振腔(5)和所述第三諧振腔(6)與位于所述金屬層(2)上端前方的所述第一諧振腔(4)的距離均為20nm，所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)與位于所述金屬層(2)上端后方的所述第一諧振腔(4)的距離均為10nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述第一諧振腔(4)的長(zhǎng)度為600nm，寬度為30nm，兩個(gè)所述第一諧振腔(4)的間距為50nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述第二諧振腔(5)、所述第三諧振腔(6)、所述第四諧振腔(7)和所述第五諧振腔(8)的長(zhǎng)度均為45nm，所述第二諧振腔(5)的寬度為105nm，所述第三諧振腔(6)的寬度為115nm，所述第四諧振腔(7)的寬度為90nm，所述第五諧振腔(8)的寬度為130nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述金屬層(2)由金屬金制成。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述金屬層(2)的厚度為300nm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述波導(dǎo)(9)的深度為150nm，寬度為50nm。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述石墨烯層(3)的長(zhǎng)度為50nm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于多PIT效應(yīng)的四通道光學(xué)濾波器，其特征在于，所述光學(xué)材料為硅。
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