[發(fā)明專利]具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu)及封裝方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910084768.4 | 申請(qǐng)日: | 2019-01-29 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109786272B | 公開(kāi)(公告)日: | 2020-08-04 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 張錦龍;顧然;屈海濤;董志猛;樊琳琳 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 河南大學(xué);中電普瑞電力工程有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/56 | 分類號(hào): | H01L21/56;H01L23/58;H01L29/739 |
| 代理公司: | 鄭州大通專利商標(biāo)代理有限公司 41111 | 代理人: | 陳勇 |
| 地址: | 475001 河*** | 國(guó)省代碼: | 河南;41 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說(shuō)明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 具有 內(nèi)部 測(cè)溫 功能 新型 igbt 封裝 結(jié)構(gòu) 方法 | ||
1.一種具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu),包括外殼(9),外殼(9)內(nèi)設(shè)置有基板和設(shè)置在基板上的IGBT芯片(2),所述基板和IGBT芯片(2)之間設(shè)置有一層襯板(1),其特征在于,所述IGBT芯片(2)包括多個(gè)極性引腳(8),兩個(gè)對(duì)應(yīng)設(shè)置的極性引腳(8)之間通過(guò)連接線(7)連接;所述連接線(7)呈并排的拱形布設(shè);連接線(7)與下部的IGBT芯片(2)之間構(gòu)成測(cè)溫區(qū)域,所述測(cè)溫區(qū)域內(nèi)設(shè)置有測(cè)溫組件;所述測(cè)溫組件包括感應(yīng)段和傳輸段;
所述感應(yīng)段,用于感知IGBT內(nèi)部的溫度信號(hào);所述傳輸段,用于將溫度信號(hào)進(jìn)行傳輸;
所述感應(yīng)段包括第一光纖(5),所述第一光纖(5)的中部設(shè)置有光柵(11),第一光纖(5)外部設(shè)置有第一套管(3),第一套管(3)下部緊貼IGBT芯片(2)布設(shè);
所述傳輸段包括第二光纖(6),所述第二光纖(6)外部設(shè)置有第二套管(4),所述第二光纖(6)的端部穿出外殼(9)且連接有光纖接頭;第二套管(4)與第一套管(3)的間距為2~3mm;所述第一光纖(5)與第二光纖(6)為一體成型結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述光柵(11)設(shè)置在第一光纖(5)內(nèi)的中間位置,光柵(11)以光柵周期為間隔水平分布;光柵(11)裸露可見(jiàn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一光纖(5)的端部與第一套管(3)之間的距離為2~3mm。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述第一套管(3)和第二套管(4)均為由耐高溫材料制成;所述耐高溫材料為聚酰亞胺;
所述第一套管(3)為一端封閉、另一端開(kāi)口的管體;所述第二套管(4)為兩端開(kāi)口的管體;
所述第一套管(3)和第二套管(4)的外徑不大于1mm,壁厚為0.05~0.1mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu),其特征在于,所述連接線(7)均為鋁線。
6.基于權(quán)利要求1~5任一所述的一種具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT封裝結(jié)構(gòu)的一種具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT的封裝工藝,其特征在于,包括以下步驟:
步驟1:準(zhǔn)備基板,組裝襯板(1),并貼裝IGBT芯片(2);采用連接線(7)將IGBT芯片(2)的極性引腳(8)連接,形成測(cè)溫區(qū)域;
步驟2:在測(cè)溫區(qū)域內(nèi)安裝測(cè)溫組件的感應(yīng)段和傳輸段;
步驟3:將安裝后的測(cè)溫組件和基板進(jìn)行固化處理;
步驟4:安裝外殼(9),將傳輸段中的第二光纖(6)引出外殼(9),進(jìn)行絕緣固化;
步驟5:在傳輸段的第二光纖(6)的端部安裝光纖接頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT的封裝工藝,其特征在于,所述步驟2具體包括:
感應(yīng)段的第一光纖(5)的端部從IGBT芯片(2)的一端進(jìn)入測(cè)溫區(qū)域,使第一光纖(5)上的光柵(11)置于IGBT芯片(2)的中心位置;
第一套管(3)的開(kāi)口處從IGBT芯片(2)的另一端進(jìn)入測(cè)溫區(qū)域,并套在第一光纖(5)的外表面;
采用環(huán)氧樹(shù)脂膠將第一套管(3)的兩端與IGBT芯片(2)固定。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT的封裝工藝,其特征在于,在所述步驟2之后,還包括:將傳輸段的第二光纖(6)的外部套接第二套管(4),并采用環(huán)氧樹(shù)脂膠在端部固定。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT的封裝工藝,其特征在于,所述步驟3具體包括:
將步驟2中處理后的IGBT芯片(2)和基板放入恒溫箱固化,恒溫箱溫度設(shè)置為55~70℃,固化時(shí)間為3~8 h。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的具有內(nèi)部測(cè)溫功能的新型IGBT的封裝工藝,其特征在于,所述步驟4具體包括:
將固化后的IGBT芯片(2)安裝外殼(9),外殼(9)上設(shè)置有注膠孔(10),將傳輸段的第二光纖(6)從注膠孔(10)引出,在注膠孔(10)內(nèi)灌注絕緣膠,至絕緣膠凝固。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
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H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過(guò)程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過(guò)程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過(guò)程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





