[發(fā)明專利]加工裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910083842.0 | 申請日： | 2019-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN110153780A | 公開（公告）日： | 2019-08-23 |
| 發(fā)明（設計）人： | 竹之內(nèi)研二 | 申請（專利權）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | B23Q11/00 | 分類號： | B23Q11/00;B23Q11/10;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帥;黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 加工 被加工物 加工裝置 加工液 廢液 廢液回收 加工單元 提供單元 排出路 廢液處理單元 氧化劑 排水基準 回收 處理槽 排出 貯存 排水 分解 | ||
【權利要求書】：
1.一種加工裝置，其具有：
保持單元，其對被加工物進行保持；以及加工單元，其對該保持單元所保持的被加工物進行加工，該加工裝置的特征在于，其還具有：
加工液提供單元，其在利用該加工單元對該保持單元所保持的被加工物進行加工時至少對被加工物提供包含氧化劑的加工液；
加工廢液回收部，其對包含從該加工液提供單元提供至被加工物的該加工液的加工廢液進行回收；
排出路，其將該加工廢液從該加工廢液回收部排出至該加工裝置外；以及
處理槽，其配設于該排出路的途中，對利用該加工廢液回收部進行回收的加工廢液進行貯存，并具有將該加工廢液所含的加工液分解的廢液處理單元。
2.根據(jù)權利要求1所述的加工裝置，其中，
該氧化劑為過氧化氫，該廢液處理單元包含對該加工廢液照射紫外線的紫外線照射單元。
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