[發明專利]壓電器件、液體噴射頭以及液體噴射裝置有效
| 申請號： | 201910079269.6 | 申請日： | 2019-01-28 |
| 公開（公告）號： | CN110091603B | 公開（公告）日： | 2020-12-08 |
| 發明（設計）人： | 高部本規 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/045 | 分類號： | B41J2/045;B41J2/14;B41J2/01;H01L41/09 |
| 代理公司： | 北京金信知識產權代理有限公司 11225 | 代理人： | 蘇萌萌;權太白 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 器件 液體 噴射 以及 裝置 | ||
1.一種壓電器件，其特征在于，具備：
基板，其形成有多個第一凹部；
振動板，其被設置在所述基板的一面側；以及
壓電元件，其具有第一電極、壓電體層和第二電極，所述第一電極隔著所述振動板而被設置在所述基板的一面側，所述壓電體層被設置在所述第一電極上，所述第二電極被設置在所述壓電體層上，
在所述壓電元件中，所述壓電體層的由所述第一電極與所述第二電極夾持的活性部針對每個所述第一凹部而獨立設置，
所述第一電極構成針對各個所述活性部而獨立設置的獨立電極，
所述第二電極構成由多個所述活性部所共用設置的共用電極，
在所述壓電體層上設置有第二凹部，所述第二凹部被設置于所述活性部的外側，且向與所述基板的相反側開口，
所述振動板具有氮化膜和氧化鋯膜，
所述氧化鋯膜在所述基板與所述壓電元件的層壓方向上，位于所述氮化膜與所述壓電元件之間，
在與所述層壓方向交叉的第一方向上所述壓電體層和所述振動板重疊的第一區域中，在所述振動板上設置有所述氮化膜和所述氧化鋯膜這兩方，
在所述第一方向上所述壓電體層和所述振動板未重疊的第二區域中，在所述振動板上未設置有氧化鋯膜，而設置有所述氮化膜。
2.如權利要求1所述的壓電器件，其特征在于，
在所述第二凹部的內表面上形成有所述第二電極。
3.如權利要求2所述的壓電器件，其特征在于，
所述氧化鋯膜在同所述活性部與所述第二凹部的底面之間重疊的區域內，以不與被形成在所述第二凹部的側面上的所述第二電極相接觸的方式而延伸配置。
4.如權利要求1所述的壓電器件，其特征在于，
所述氧化鋯膜在所述層壓方向上僅被設置在與所述活性部重疊的區域內。
5.如權利要求1至4中任意一項所述的壓電器件，其特征在于，
多個所述活性部被排列設置在第一方向上，
在所述活性部的所述第一方向上的兩側設置有所述第二凹部。
6.如權利要求1至4中任意一項所述的壓電器件，其特征在于，
在所述層壓方向上，所述第二凹部與所述第一凹部被配置在至少一部分重疊的位置上。
7.如權利要求1至4中任意一項所述的壓電器件，其特征在于，
所述第二凹部以在所述層壓方向上貫穿所述壓電體層的方式被設置。
8.如權利要求1至4中任意一項所述的壓電器件，其特征在于，
所述振動板在所述基板側具有含有氧化硅的氧化膜。
9.如權利要求8所述的壓電器件，其特征在于，
所述氧化膜具有與所述第一凹部連通的開口部。
10.一種液體噴射頭，其特征在于，
具備權利要求1至9中任意一項所述的壓電器件。
11.一種液體噴射裝置，其特征在于，
具備權利要求10所述的液體噴射頭。
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