[發(fā)明專利]單管剝膜機(jī)及單管加工系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910078889.8
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN109585355A
• 公開（公告）日: 2019-04-05
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 廖東升;文少劍;王進(jìn)華
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市杰普特光電股份有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11371
• 代理人: 逯恒

本發(fā)明涉及激光技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種單管剝膜機(jī)及包括該單管剝膜機(jī)的單管加工系統(tǒng)。單管剝膜機(jī)包括晶圓環(huán)、定位機(jī)構(gòu)和頂針機(jī)構(gòu)，藍(lán)膜位于晶圓環(huán)上，定位機(jī)構(gòu)用于承載晶圓環(huán)并帶動晶圓環(huán)在水平面內(nèi)移動，以改變頂針機(jī)構(gòu)與藍(lán)膜上單管的相對位置。位置調(diào)整后，使頂針機(jī)構(gòu)的頂針穿過定位機(jī)構(gòu)對準(zhǔn)待取單管，驅(qū)動裝置驅(qū)動頂針向上運(yùn)動，由于藍(lán)膜具有一定的彈性，因此頂針在向上運(yùn)動過程中能夠?qū)?yīng)的單管頂起，使單管部分脫離藍(lán)膜，從而減小藍(lán)膜上膠對單管的吸附力，便于吸筆將單管吸起。當(dāng)頂針將單管的一端頂起時，單管下表面與藍(lán)膜相分離，此時吸筆吸附時可以直接吸取單管的下表面，取下后非常容易將單管翻轉(zhuǎn)過來，極大地便利了后續(xù)工序。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種單管剝膜機(jī)及包括該單管剝膜機(jī)的單管加工系統(tǒng)。

背景技術(shù)

Bar條放置在專用藍(lán)膜上經(jīng)切割機(jī)切割后成為整齊排列的單管，單管需要從藍(lán)膜上取下放入備用的盒子里面，并且在取用過程不能有損傷。且由于單管后續(xù)的使用過程中與藍(lán)膜接觸的那面朝上，所以在單管放入盒子前上下翻轉(zhuǎn)更便利于后續(xù)工序的進(jìn)行。

一般剝膜機(jī)使用真空吸筆吸單管上表面，依靠吸筆的吸力讓單管和藍(lán)膜分離，然而因為藍(lán)膜上涂敷有一層膠水，膠水對單管的粘結(jié)力較大，因此吸筆取下尺寸較小的單管，對于尺寸稍大的單管因為膠水的吸附面積大導(dǎo)致吸力更大，使得吸筆無法從藍(lán)膜上把單管取下，且易造成單管的斷裂；此外，吸筆吸取的單管放入盒子前不能翻轉(zhuǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

本申請的目的在于提供一種單管剝膜機(jī)及包括該單管剝膜機(jī)的單管加工系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的剝膜機(jī)使用真空吸筆吸取單管時單管無法翻轉(zhuǎn)，且對于尺寸稍大的單管吸筆無法從藍(lán)膜上把單管取下的技術(shù)問題。

本申請?zhí)峁┝艘环N單管剝膜機(jī)，包括晶圓環(huán)、定位機(jī)構(gòu)和頂針機(jī)構(gòu)；

藍(lán)膜放置于所述晶圓環(huán)上，所述晶圓環(huán)位于所述定位機(jī)構(gòu)上，所述定位機(jī)構(gòu)能夠帶動所述晶圓環(huán)在水平面內(nèi)移動；

所述頂針機(jī)構(gòu)位于所述定位機(jī)構(gòu)下方；所述頂針機(jī)構(gòu)包括頂針和驅(qū)動裝置，所述驅(qū)動裝置能夠驅(qū)動所述頂針升降，使所述頂針穿過定位機(jī)構(gòu)將所述藍(lán)膜上的單管頂起或放下。

進(jìn)一步地，所述定位機(jī)構(gòu)包括晶圓環(huán)放置板、第一定位板和第二定位板；

所述晶圓環(huán)放置板上設(shè)置有定位槽，所述晶圓環(huán)放置于所述定位槽內(nèi)；

所述第一定位板位于所述晶圓環(huán)放置板下方，所述第一定位板和所述晶圓環(huán)放置板之間沿第一方向設(shè)置有第一直線滑軌，所述第一定位板和所述晶圓環(huán)放置板沿所述第一直線滑軌發(fā)生相對滑動；

所述第二定位板位于所述第一定位板下方，所述第二定位板和所述第一定位板之間沿第二方向設(shè)置有第二直線滑軌，所述第二定位板和所述第一定位板沿所述第二直線滑軌發(fā)生相對滑動；

所述第一方向和所述第二方向在水平面內(nèi)相垂直。

進(jìn)一步地，所述晶圓環(huán)放置板、所述第一定位板和所述第二定位板上沿豎直方向均設(shè)置有定位通孔，所述頂針能夠穿過所述定位通孔與所述晶圓環(huán)上的所述藍(lán)膜相接觸。

進(jìn)一步地，所述定位機(jī)構(gòu)還包括調(diào)整組件；

所述調(diào)整組件包括旋鈕安裝板、第一旋鈕、第一定位齒條、第二旋鈕和第二定位齒條；

所述第一旋鈕和所述第二旋鈕位于所述旋鈕安裝板上，所述第一旋鈕下端設(shè)置有第一定位齒輪，所述第一旋鈕轉(zhuǎn)動能夠帶動所述第一定位齒輪轉(zhuǎn)動；所述第二旋鈕下端設(shè)置有第二定位齒條，所述第二旋鈕轉(zhuǎn)動能夠帶動所述第二定位齒輪轉(zhuǎn)動；

所述第一定位齒條沿所述第一方向設(shè)置于所述晶圓環(huán)放置板的一側(cè)，所述第二定位齒條沿所述第二方向設(shè)置于所述第二定位板的一側(cè)；所述第一定位齒條與所述第一定位齒輪相嚙合，所述第二定位齒條與所述第二定位齒輪相嚙合。