[發(fā)明專利]基于高配比拋光液的LED用藍(lán)寶石晶片數(shù)控拋光方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910074761.4 | 申請日： | 2019-01-25 |
| 公開（公告）號： | CN109623508A | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳康;鄧源;黃微 | 申請（專利權(quán)）人： | 云南藍(lán)晶科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B1/00 | 分類號： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 昆明盛鼎宏圖知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 53203 | 代理人： | 許競雄 |
| 地址： | 653100*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 拋光液 高配比 藍(lán)寶石晶片 拋光 數(shù)控拋光 研磨拋光 舊料 新料 原液 方案解決 回收處理 拋光成本 拋光過程 循環(huán)拋光 循環(huán)研磨 一次循環(huán) 揮發(fā)量 體積比 補(bǔ)液 單片 打掃 清洗 配置 | ||
本發(fā)明公開了基于高配比拋光液的LED用藍(lán)寶石晶片數(shù)控拋光方法，包括以下步驟：1）配置高配比拋光液，作為拋光液新料；2）采用循環(huán)拋光對藍(lán)寶石晶片表面進(jìn)行研磨拋光；3）將一次循環(huán)研磨拋光產(chǎn)生的剩余拋光液回收處理，作為拋光液舊料；4）在下次循環(huán)研磨拋光過程中，根據(jù)拋光液新料的揮發(fā)量添加拋光液舊料進(jìn)行補(bǔ)液；所述高配比拋光液包括有拋光原液和水；所述高配比拋光液由拋光原液和水按照1：n的體積比均勻混合后得到；n的取值范圍為1?3；本發(fā)明所采取的技術(shù)方案解決了目前LED用藍(lán)寶石晶片拋光的方法使得單片拋光成本偏高以及結(jié)晶程度較高導(dǎo)致不容易清洗打掃的問題。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及LED用藍(lán)寶石晶片拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于高配比拋光液的LED用藍(lán)寶石晶片數(shù)控拋光方法。
背景技術(shù)
藍(lán)寶石α-Al2O3單晶體具有優(yōu)良的光學(xué)、力學(xué)、熱學(xué)、介電、耐腐蝕等性能，隨著市場競爭的不斷加大，如何生產(chǎn)出性能和價(jià)格都更合適的產(chǎn)品，才能搶占市場的先機(jī)，所以在保證質(zhì)量的同時(shí)，成本優(yōu)勢就尤為重要，為了控制加工成本，需要在原材輔料上進(jìn)行不斷地優(yōu)選改進(jìn)，而對于拋光來說，拋光液成本是最高的一項(xiàng)，如何縮減拋光液的使用成本，成為必須攻克的難題；
目前，藍(lán)寶石晶片拋光使用的拋光液主要是氧化硅拋光液，購買的都是拋光原液，成本都較高，使用方法也都是采用1（原液）:1（水）的體積進(jìn)行混合配比，但用下來單片拋光成本偏高，隨著競爭的加劇，過高的成本很難搶占市場，且采用1：1的體積比混合使用結(jié)晶程度較高導(dǎo)致不容易清洗打掃的問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種基于高配比拋光液的LED用藍(lán)寶石晶片拋光方法，解決目前LED用藍(lán)寶石晶片拋光的方法使得單片拋光成本偏高以及結(jié)晶程度較高導(dǎo)致不容易清洗打掃的問題。
為解決上述的技術(shù)問題，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種基于高配比拋光液的LED用藍(lán)寶石晶片數(shù)控拋光方法，包括以下步驟：
1）配置高配比拋光液，作為拋光液新料；
2）采用循環(huán)拋光對藍(lán)寶石晶片表面進(jìn)行研磨拋光；
3）將一次循環(huán)研磨拋光產(chǎn)生的剩余拋光液回收處理，作為拋光液舊料；
4）在下次循環(huán)研磨拋光過程中，根據(jù)拋光液新料的揮發(fā)量添加拋光液舊料進(jìn)行補(bǔ)液；
進(jìn)一步的，所述高配比拋光液包括有拋光原液和水；所述高配比拋光液由拋光原液和水按照1：n的體積比均勻混合后得到；n的取值范圍為1-3；
進(jìn)一步的，所述拋光原液的粒徑范圍為80nm-126nm；所述拋光原液中的顆粒物質(zhì)均為多棱角結(jié)構(gòu)；
進(jìn)一步的，所述對剩余拋光液回收處理的方法為過濾；通過過濾除掉研磨拋光產(chǎn)生的藍(lán)寶石晶片顆粒；
進(jìn)一步的，循環(huán)拋光開始時(shí)采用初始拋光液；所述初始拋光液為拋光液新料混合等體積的拋光液舊料或全部采用拋光液新料；
進(jìn)一步的，所述初始拋光液采用拋光新料混合等體積的拋光液舊料時(shí)，循環(huán)拋光中途根據(jù)揮發(fā)程度添加拋光液新料進(jìn)行補(bǔ)充；
進(jìn)一步的，所述初始拋光液全部采用拋光液新料時(shí)，循環(huán)拋光中途根據(jù)揮發(fā)程度添加拋光舊料進(jìn)行補(bǔ)充；
更進(jìn)一步的技術(shù)方案是所述循環(huán)拋光的拋光壓力為245g/cm2，拋光溫度為60℃，下盤轉(zhuǎn)速為55rpm。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是至少是如下之一：
1、通過提高拋光液配比，由原來的1:1依次提高到1:1.2；1:1.5；1:2等多個(gè)配比，最終評估了加工后質(zhì)量數(shù)據(jù)，在質(zhì)量得到保證的同時(shí)，盡可能增大配比，同樣的一桶原液，通過增加配比，有效提升了拋光數(shù)量，降低了單片成本；
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