[發(fā)明專利]一種Au-Ga釬料在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910072298.X | 申請日: | 2019-01-25 |
| 公開(公告)號: | CN109719420A | 公開(公告)日: | 2019-05-07 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陶宇;薛鵬;薛松柏;龍偉民;鐘素娟;何鵬 | 申請(專利權(quán))人: | 南京航空航天大學 |
| 主分類號: | B23K35/30 | 分類號: | B23K35/30 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人: | 賀翔 |
| 地址: | 210016 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金屬鈣 釬料 熔化 電子器件封裝 粉末狀金屬 質(zhì)量百分數(shù) 軋制 成分配比 高集成度 均勻液體 石墨坩堝 純金箔 覆蓋劑 金屬鉻 金屬鎵 中頻爐 熔煉 包覆 焊片 金錠 可用 裁剪 封裝 加熱 澆鑄 冶煉 芯片 篩選 優(yōu)化 | ||
一種Au?Ga釬料,其化學成分按質(zhì)量百分數(shù)是:29%~31%Ga,0.001%~0.05%的Cr,0.001%~0.05%的Ca,余量為Au。使用市售的金錠、金屬鎵、金屬鉻、金屬鈣,按設計成分配比,將金與鎵置于石墨坩堝中,在中頻爐中進行熔煉,加熱至約1200℃,待金與鎵完全熔化成均勻液體后,用純金箔包覆粉末狀金屬鉻、金屬鈣加入,并攪拌均勻。冶煉時加入經(jīng)優(yōu)化篩選確定的覆蓋劑。經(jīng)過澆鑄、軋制、裁剪,即得到需要尺寸的焊片。本發(fā)明產(chǎn)品可用于大功率、高集成度的電子器件封裝,尤其是芯片的連接與封裝。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及電子封裝行業(yè)的貴金屬釬料領(lǐng)域,具體涉及一種Au-Ga釬料。
背景技術(shù)
目前,在大功率、高集成度的電子器件封裝,尤其是芯片的連接與封裝行業(yè),大量采用貴金屬釬料。近幾年,在IGBT產(chǎn)品的制造需求帶動下,貴金屬釬料的應用越來越廣泛。目前,用于電子封裝領(lǐng)域的貴金屬釬料主要有Au-Sn、Au-Si、Au-Ge等釬料,其具有良好的潤濕性和流動性、良好的導熱導電性以及耐熱耐蝕性,高的穩(wěn)定性,低的蒸汽壓,容易與半導體Si或GaAs芯片形成共晶鍵合,但是,其熔點均低于365℃,無法滿足大功率、高集成度的電子器件封裝的需要。US201414460904公開了一種Au-Ga-In 釬焊材料,其固相線溫度最高只有390℃,仍然偏低。因此,急需開發(fā)出固相線溫度在450℃以上的金基釬料,以滿足高鐵用IGBT器件制造的需要,本項發(fā)明“一種Au-Ga釬料”,即是在這種技術(shù)背景下完成的。
發(fā)明內(nèi)容
本項發(fā)明的目的是提供一種具有優(yōu)良的潤濕鋪展性能、優(yōu)良的導電性和導熱性,可用于大功率、高集成度的電子器件封裝(如IGBT器件),尤其是芯片的連接與封裝的固相線溫度在450℃以上的金基釬料。為此,本項發(fā)明的一種Au-Ga釬料,其化學成分按質(zhì)量百分數(shù)是:29%~31%Ga,0.001%~0.05%的Cr,0.001%~0.05%的Ca,余量為Au,其固相線溫度為454℃,液相線溫度為461℃,滿足了上述要求。
使用市售的金錠、金屬鎵、金屬鉻、金屬鈣,按設計成分配比,將金與鎵置于石墨坩堝中,在中頻爐中進行熔煉,加熱至約1200℃,待金與鎵完全熔化成均勻液體后,用純金箔包覆粉末狀金屬鉻、金屬鈣加入,并攪拌均勻。冶煉時加入經(jīng)優(yōu)化篩選確定的覆蓋劑。經(jīng)過澆鑄、軋制、裁剪,即得到需要尺寸的焊片。本發(fā)明產(chǎn)品可用于大功率、高集成度的電子器件封裝,尤其是芯片的連接與封裝。
本發(fā)明的Au-Ga釬料,在冶煉時,由于純鎵的熔點為29.8℃,液態(tài)鎵不易準確稱量。因此,必須先將金屬Ga放入冰箱冷藏保存,然后,在“固態(tài)”下準確稱量Ga的配比,保證Au-Ga釬料的成分范圍準確。
為保證發(fā)明的Au-Ga釬料具有優(yōu)良的潤濕和鋪展性能,同時其固相線溫度能夠達到454℃,經(jīng)過反復試驗發(fā)現(xiàn),添加0.001%~0.05%的Cr,0.001%~0.05%的Ca,能夠提高Au-Ga釬料的熔化溫度范圍,但是,Cr、Ca的添加量不宜大于0.05%。通過對釬料成分優(yōu)化,在優(yōu)化后的成分范圍,新發(fā)明的Au-Ga釬料各項性能指標均達到要求。
具體實施方案
本項發(fā)明主要解決的關(guān)鍵性問題以及創(chuàng)造性在于:
1)通過添加微量Ca,解決了Au-Ga釬料冶煉與釬焊時的“脫氧”問題,大大降低了Au-Ga釬料自身以及釬焊焊點中的氧含量,使得釬料中的Au、Ga元素不被氧化在釬焊時具有優(yōu)良的潤濕鋪展性能,從而提高了釬焊焊點質(zhì)量。需要特別指出的是,由于Au、Ga元素自身不易氧化,但是在應用與“高端”電子器件的制造時,即使極微量的氧含量(如氧含量≥30ppm)也會影響釬焊焊點質(zhì)量。所以,必須通過添加微量的“活潑”元素Ca,以保證Au-Ga釬料及其焊點中的氧含量降低至20ppm以下。但是,Ca元素的添加量不能太多,高于0.05%后,會影響Au-Ga釬料的潤濕鋪展性能,使得釬焊接頭抗剪強度反而下降。但是如果Ca的加入量小于0.001%,“脫氧”效果達不到預期,使得釬焊接頭抗剪強度也會降低。
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