[發明專利]一種小型射頻等離子體噴槍

在審

• 申請號: 201910071734.1
• 申請日: 2019-01-25
• 公開（公告）號: CN111491434A
• 公開（公告）日: 2020-08-04
• 發明（設計）人: 李樹瑜
• 申請（專利權）人: 天津吉兆源科技有限公司
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30
• 代理公司: 北京智行陽光知識產權代理事務所(普通合伙) 11738
• 代理人: 黃錦陽

1.一種小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，包括：等離子噴頭、屏蔽手柄、固定射頻匹配器、氣路、同軸電纜以及調頻射頻電源。

2.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述等離子噴頭包括針式內電極、介質毛細管和外導體；所述針式內電極與所述固定射頻匹配器連接以作為射頻電極，所述針式內電極材料采用導電材料；所述介質毛細管內徑略大于所述針式內電極，用于介質阻擋，氣體從所述針式內電極和所述介質毛細管之間通過，電離成為射頻等離子體，從毛細管噴出，所述介質毛細管材料采用高絕緣、耐高溫和低射頻損耗材料；所述外導體為包裹于介質毛細管外壁的導電細管，其與地電極相連，作為射頻放電的地電極，同時，所述外導體也作為射頻的屏蔽裝置，防止射頻發射，所述外導體材料采用導電材料。

3.根據權利要求2所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述針式內電極材料為難熔金屬材料鎢、不銹鋼，所述介質毛細管材料為石英、玻璃、陶瓷，所述外導體材料為銅、鋁或不銹鋼。

4.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述屏蔽手柄為筒形結構，采用螺紋方式將所述固定射頻匹配器和內部絕緣筒固定在所述屏蔽手柄內，所述屏蔽手柄可以為可拆卸的上部和下部，所述上部為屏蔽罩，所述下部可用來安裝所述固定射頻匹配器，所述上部和下部采用螺接的方式進行固定。

5.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述射頻固定匹配器包括電容、電感、射頻輸入接頭、射頻輸出端和電路板，所述射頻固定匹配器為筒形結構，方便安裝在所述屏蔽手柄內。

6.根據權利要求5所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述電容包括串聯電容和并聯電容，所述串聯電容和所述并聯電容可以采用高壓射頻固定電容或小體積的可調云母電容；所述電感采用漆包線或高溫線繞制而成；所述電路板為陶瓷電路板，所述電容可采用焊接的方式固定在所述陶瓷電路板上，所述電感可采用刻蝕或焊接的方式固定在陶瓷電路板上；所述射頻輸入接頭采用標準射頻接頭焊接在射頻匹配器輸入端，作為匹配器射頻輸入；所述射頻輸出端采用射頻針式電極，所述射頻針式電極采用焊接或機械彈性連接的方式與匹配器輸出端相連。

7.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述氣路包括氣路軟管和氣體接頭，所述氣體接頭固定在匹配器輸入端，通過所述氣路軟管與絕緣毛細管相連，針式內電極穿過氣體軟管與匹配器輸出連接，所述氣體軟管材料為彈性材料。

8.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述同軸電纜采用標準射頻接頭，兩端分別與所述固定射頻匹配器的射頻輸入接頭和所述調頻射頻電源的輸出接頭相連，用于將射頻電源的射頻能量傳輸到匹配器中并激發等離子體。

9.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述調頻射頻電源采用頻率可調的射頻電源或自動調諧的射頻電源實現自動匹配，通過操作面板進行功率、頻率設定或計算機串口進行控制。

10.根據權利要求1所述的小型射頻等離子體噴槍，其特征在于，所述小型射頻等離子體噴槍可應用于牙醫和小型等離子加工領域。