[發明專利]用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置及其搭建方法

有效

• 申請號: 201910068152.8
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN109683344B
• 公開（公告）日: 2023-10-03
• 發明（設計）人: 強鵬飛;盛立志;閆永清;李林森;劉哲;周曉紅;劉永安;趙寶升
• 申請（專利權）人: 中國科學院西安光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B27/62
• 分類號: G02B27/62;G02B7/18;G02B27/14
• 代理公司: 西安智邦專利商標代理有限公司 61211
• 代理人: 鄭麗紅

1.一種用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：包括激光器(1)、激光器調節架(2)、光學平臺(3)、轉臺(4)、第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)、中心五棱鏡組(6)、裝調五棱鏡組(7)和參考五棱鏡組(8)；

所述激光器(1)固定于激光器調節架(2)上，其出射光垂直向上；

所述光學平臺(3)置于激光器(1)上方，且光學平臺(3)上設有中間開孔；

所述轉臺(4)位于光學平臺(3)上方，且設置有通光孔；

所述第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)均固定設置在轉臺(4)上；

所述中心五棱鏡組(6)包括中心五棱鏡和第一五棱鏡調節架(65)，所述中心五棱鏡設置在第一五棱鏡調節架(65)上，所述第一五棱鏡調節架(65)固定設置在轉臺(4)上；

所述裝調五棱鏡組(7)包括裝調五棱鏡(71)和第二五棱鏡調節架(72)，所述裝調五棱鏡(71)設置在第二五棱鏡調節架(72)上，所述第二五棱鏡調節架(72)設置在第一位移調節架(5)上；

所述參考五棱鏡組(8)包括參考五棱鏡(81)和第三五棱鏡調節架(82)，所述參考五棱鏡(81)設置在第三五棱鏡調節架(82)上，所述第三五棱鏡調節架(82)設置在第二位移調節架(10)上；

所述激光器(1)的出射光穿過中間開孔和通光孔，入射至中心五棱鏡后分為兩束水平光，其中一束水平光入射至裝調五棱鏡(71)轉換為垂直光，另一束水平光入射至參考五棱鏡(81)轉換為垂直光。

2.根據權利要求1所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述中心五棱鏡包括由上至下依次設置的第一補償鏡(63)、第一五棱鏡(64)、第二補償鏡(61)、第二五棱鏡(62)，所述第一五棱鏡(64)和第二五棱鏡(62)的入射面平行設置，所述第一補償鏡(63)、第一五棱鏡(64)的膠合面上鍍有第一分光膜(42)，所述第二補償鏡(61)、第二五棱鏡(62)膠合面上鍍有第二分光膜(41)。

3.根據權利要求2所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述第一分光膜(42)和第二分光膜(41)的材料具體為銀。

4.根據權利要求1或2或3所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述光學平臺(3)中間開孔和激光器(1)位置關系為同心，通光孔與激光器(1)位置關系也為同心。

5.根據權利要求4所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：所述激光器調節架(2)固定于標準面包板(11)上。

6.根據權利要求5所述的用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統的光源裝置，其特征在于：第一位移調節架(5)、第二位移調節架(10)關于中心五棱鏡組(6)對稱設置。

7.一種用于X射線聚焦鏡垂直裝調系統光源裝置的搭建方法，其特征在于，包括以下步驟：

1)將激光器固定于激光器調節架上；

2)將光學平臺的中間開孔與激光器的調節同心，并將光學平臺固定于地面上；

3)將轉臺固定于光學平臺上，并將轉臺通光孔與光學平臺的中間開孔調節同心；

4)將第一位移調節架和第二位移調節架固定于轉臺上方，第一位移調節架和第二位移調節架呈中心對稱方式排列；

5)將中心五棱鏡組通固定于轉臺上；

6)將裝調五棱鏡和參考五棱鏡分別固定于第一位移調節架和第二位移調節架上，并調節其姿態；

7)打開激光器，旋轉轉臺，為聚焦鏡裝調系統提供掃描光源。