[發明專利]微機電泵模塊

有效

• 申請號: 201910067428.0
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN111472964B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;李偉銘
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

1.一種微機電泵模塊，其特征在于，包含：

一微機電芯片，具有一芯片本體，該芯片本體為一長方形，且具有一長邊及一短邊；

至少一信號電極，設置于該芯片本體并鄰近該短邊；

多個微機電泵，皆具有一第一電極與一第二電極，該第二電極電連接該至少一信號電極；

多個開關單元，電連接該多個微機電泵的該第一電極；以及

多個控制電極，設置于該芯片本體并鄰近該長邊且分別電連接該多個開關單元；

其中，該至少一信號電極接收一調變電壓以傳輸至該多個微機電泵的該第二電極，該多個開關單元控制該多個微機電泵啟閉作動。

2.如權利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極包含有一第一信號電極。

3.如權利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極。

4.如權利要求2所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極更包含一第二信號電極。

5.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二信號電極。

6.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極與該第二信號電極。

7.如權利要求4所述的微機電泵模塊，其特征在于，該至少一信號電極更包含一第三信號電極及一第四信號電極。

8.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組、一第二微機電泵群組、一第三微機電泵群組及一第四微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第二信號電極，該第三微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三信號電極，該第四微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第四信號電極。

9.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵可區分為一第一微機電泵群組及一第二微機電泵群組，該第一微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第一信號電極與該第二信號電極，該第二微機電泵群組的該多個第二電極電連接該第三信號電極與該第四信號電極。

10.如權利要求7所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵的該第二電極電連接該第一信號電極、該第二信號電極、該第三信號電極及該第四信號電極。

11.如權利要求1所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個微機電泵與該多個開關單元分別一對一對應連接。

12.如權利要求1所述的微機電泵模塊，該多個開關單元包含有一第一開關單元及一第二開關單元，鄰近該第一開關單元的該多個微機電泵形成一第一微機電作動區，且該第一微機電作動區內的該多個微機電泵皆電連接該第一開關單元，鄰近該第二開關單元的該多個微機電泵形成一第二微機電作動區，且該第二微機電作動區內的該多個微機電泵皆電連接該第二開關單元。

13.如權利要求12所述的微機電泵模塊，其特征在于，該多個開關單元包含有一第三開關單元及一第四開關單元，鄰近該第三開關單元的該多個微機電泵形成一第三微機電作動區，且該第三微機電作動區內的該多個微機電泵皆電連接至該第三開關單元，而鄰近該第四開關單元的該多個微機電泵形成一第四微機電作動區，且該第四微機電作動區內的該多個微機電泵皆電連接至該第四開關單元。