[發明專利]微機電泵模塊

有效

• 申請號: 201910067180.8
• 申請日: 2019-01-24
• 公開（公告）號: CN111472963B
• 公開（公告）日: 2022-02-11
• 發明（設計）人: 莫皓然;余榮侯;張正明;戴賢忠;廖文雄;黃啟峰;韓永隆;陳宣愷
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B49/06
• 分類號: F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03
• 代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003
• 代理人: 聶慧荃;鄭特強

一種微機電泵模塊，包含微機電芯片、多個微機電泵、多個開關單元以及多個控制電極。微機電芯片具有芯片本體，芯片本體是具有一長邊的長方形。至少一信號電極設置于芯片本體并鄰近長邊。多個微機電泵皆具有第一電極與第二電極，第二電極電連接至少一信號電極。多個開關單元電連接多個微機電泵的第一電極。多個控制電極設置于芯片本體并鄰近長邊且分別電連接多個開關單元。至少一信號電極接收調變電壓以傳輸至多個微機電泵的第二電極，多個開關單元用以控制多個微機電泵啟閉作動。

【技術領域】

本案關于一種微機電泵模塊，尤指一種利用信號電極的設置來減少微處理器的接點，再利用開關單元控制微機電泵，進而簡化微機電泵接點與布線。

【背景技術】

隨著科技的日新月異，流體輸送裝置的應用上亦愈來愈多元化，舉凡工業應用、生醫應用、醫療保健、電子散熱等等，甚至近來熱門的穿戴式裝置皆可見它的踨影，可見傳統的泵已漸漸有朝向裝置微小化的趨勢，但傳統的泵難以將尺寸縮小至公厘等級，故目前的微型流體輸送裝置僅能使用壓電泵結構來作為微型流體傳輸裝置。

而微機電泵雖可將泵的體積微小化至微米等級，但微米等級的微機電泵會因為過小的體積限制了流體傳輸量，故需要多個微機電泵搭配使用，請參考圖1所示，目前皆是通過一個高階微處理器1分別對各個微機電泵進行控制，但高階微處理器1本身成本高，且每個微機電泵2都必須要連接高階微處理器1的兩根微處理器接腳11連接，再通過高階微處理器1分別控制各個微機電泵2，才得以達到精確控制的效果，但卻會因此大幅提升高階微處理器1的成本，導致微機電泵模塊成本居高不下，也會增加封裝打線的困難，難以普及，因此，如何降低微機電泵模塊的成本為目前微機電泵首要克服的難關。

【發明內容】

本案的主要目的在于提供一種微機電泵模塊，通過信號電極來傳輸驅動微機電泵的調變電壓，再經由開關單元來控制微機電泵啟閉動作，來減少微處理器的接點，減少微機電泵模塊的接點及布線，進一步簡化微機電泵模塊。

為達上述目的，本案的較廣義實施態樣為提供一種微機電泵模塊，包含：一微機電芯片，具有一芯片本體，該芯片本體是一長方形，且具有一長邊；至少一信號電極，設置于該芯片本體并鄰近該長邊；多個微機電泵，皆具有一第一電極與一第二電極，該第二電極電連接該至少一信號電極；多個開關單元，電連接該多個微機電泵的該第一電極；以及多個控制電極，設置于該芯片本體并鄰近該長邊且分別電連接該多個開關單元；其中，該至少一信號電極接收一調變電壓以傳輸至該多個微機電泵的該第二電極，該多個開關單元控制該多個微機電泵啟閉作動。

【附圖說明】

圖1為先前技術中微機電泵模塊的示意圖。

圖2為本案微機電泵模塊的第一實施例示意圖。

圖3為本案微機電泵模塊的第二實施例示意圖。

圖4為本案微機電泵模塊的第三實施例示意圖。

圖5為本案微機電泵模塊的第四實施例示意圖。

圖6為本案微機電泵模塊的第五實施例示意圖。

圖7為本案微機電泵模塊的第六實施例示意圖。

圖8為本案微機電泵模塊的第七實施例示意圖。

圖9為本案微機電泵模塊的第八實施例示意圖。

圖10A為本案微機電泵的開關單元連接微機電泵的示意圖。

圖10B為本案微機電泵的開關單元連接微機電泵另一實施例的示意圖。

【具體實施方式】

體現本案特征與優點的一些典型實施例將在后段的說明中詳細敘述。應理解的是本案能夠在不同的態樣上具有各種的變化，其皆不脫離本案的范圍，且其中的說明及圖示在本質上當作說明之用，而非用以限制本案。