[發(fā)明專(zhuān)利]直拉單晶爐加料裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910064168.1
• 申請(qǐng)日: 2019-01-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109518268A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 史蒂芬·勞倫斯·金貝爾;孟敬鎬;布拉德·喬佩克
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/02
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/02;C30B29/06
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述直拉單晶爐加料裝置包括：

進(jìn)料管；

硅料輸運(yùn)體，用于接收來(lái)自所述進(jìn)料管的硅料，所述硅料輸運(yùn)體與所述進(jìn)料管連通，所述硅料輸運(yùn)體具有用于接收所述硅料的底壁、遠(yuǎn)離所述硅料的第一側(cè)壁以及圍繞所述硅料設(shè)置的第二側(cè)壁；其中，所述底壁與所述第一側(cè)壁相對(duì)設(shè)置，且所述底壁、所述第一側(cè)壁與所述第二側(cè)壁圍成用以容納硅料的腔體；以及

下料管，用于接收來(lái)自所述硅料輸運(yùn)體的硅料，所述下料管與所述硅料輸運(yùn)體連通；

其中，硅料的自然堆積角為θ，所述進(jìn)料管的中心線與所述下料管的中心線之間的夾角為γ，γ滿(mǎn)足以下條件：0°≤γ＜90°-θ；所述底壁與所述下料管的中心線之間的夾角為α，α滿(mǎn)足以下條件：α＜θ+90°；所述第一側(cè)壁與所述下料管的中心線之間的夾角為β，β滿(mǎn)足以下條件：β≥θ+90°。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，α還滿(mǎn)足以下條件：α＝90°。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，β還滿(mǎn)足以下條件：100°≤β≤160°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述硅料輸運(yùn)體連接于所述進(jìn)料管的一端的截面面積不小于所述進(jìn)料管連接于所述硅料輸運(yùn)體的一端的截面面積。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述硅料輸運(yùn)體沿平行于所述進(jìn)料管的中心線與所述下料管的中心線所在平面的截面形狀為直角梯形，所述進(jìn)料管位于直角梯形的上底且靠近直角的一側(cè)，且所述進(jìn)料管的中心線垂直于直角梯形的上底，所述下料管位于直角梯形的下底且遠(yuǎn)離直角的一側(cè)；

所述硅料輸運(yùn)體的直角邊的高度為50mm～500mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述硅料為圓形顆粒硅，所述θ滿(mǎn)足以下條件：0°≤θ≤25°；或者

所述硅料為細(xì)條狀的機(jī)械破碎料，所述θ滿(mǎn)足以下條件：30°≤θ≤50°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述進(jìn)料管、所述硅料輸運(yùn)體與所述下料管的材質(zhì)獨(dú)立選自石英、硅化物和石墨中的至少一種。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述進(jìn)料管沿垂直于進(jìn)料方向的截面形狀為圓形，所述進(jìn)料管的內(nèi)徑為20mm～100mm，所述進(jìn)料管的長(zhǎng)度為10mm～120mm。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述下料管沿垂直于出料方向的截面形狀為矩形，所述下料管的矩形寬度為10mm～50mm，所述下料管的矩形長(zhǎng)度為40mm～100mm，所述下料管的高度為30mm～280mm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉單晶爐加料裝置，其特征在于，所述進(jìn)料管、所述硅料輸運(yùn)體與所述下料管的壁厚為1mm～8mm。