[發明專利]一種顯示面板及其制造方法、顯示裝置

有效

• 申請號: 201910059282.5
• 申請日: 2019-01-22
• 公開（公告）號: CN109728067B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 李士佩;姚琪;黎午升;盧江楠;吳慧利;賀芳;顧仁權;尹東升;徐勝;何偉
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L27/32
• 分類號: H01L27/32;H01L51/00
• 代理公司: 北京市立方律師事務所 11330
• 代理人: 張筱寧

本發明實施例提供了一種顯示面板，包括：依次位于基底上的基板、半導體有源層、柵極絕緣層和柵極，還包括熒光層。熒光層位于基板上，用于后續采用激光剝離技術剝離基底時，遮擋照射到半導體有源層的光線。本發明還公開一種顯示面板的制造方法和顯示裝置。本發明將金屬遮光層替換成熒光層，由于熒光層可以吸收高能量的光后電子發生躍遷，由原來處于的基態電子軌道躍遷至更高的激發態軌道。因為激發態軌道不穩定，隨即從更高的激發態軌道躍遷回至能量較低的基態，低能量的光對半導體有源層沒有影響。熒光層可以吸收高能量光，不會反射高能量光，因此，能實現較佳的遮光效果，避免惡化半導體有源層。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，具體為一種顯示面板及其制造方法、顯示裝置。

背景技術

由于有機發光二極管具有自發光、廣視角、能耗低、對比度高等特點，使得有機發光二極管被譽為液晶顯示器的下一代產品。相對于目前的低溫多晶硅技術，氧化技術在大尺寸有機發光二極管方向具有明顯優勢，工藝簡單、均一性好。其中，頂柵結構使溝道避免來自顯示的光照的影響，但是，柔性彎曲是有機發光二極管發展的一個重要方向，柔性薄膜基底從玻璃表面激光剝離時會照射溝道，使薄膜晶體管的性能惡化。

為了避免光線對溝道的照射，在半導體有源層溝道下方制作金屬遮光層是常用工藝之一，由于金屬遮光層不透光，可以將激光剝離工藝的高能量紫外光遮擋。但是，金屬遮光層會反射一部分光，斜射到溝道上造成半導體有源層特性惡化，惡化程度隨機，導致遮光的效果不佳。

發明內容

有鑒于此，本發明提供一種顯示面板及其制造方法、顯示裝置，用于解決頂柵型柔性顯示面板在激光剝離的過程中，激光照射導致半導體有源層特性惡化，使得顯示面板的整體顯示效果欠佳的問題。

為了解決上述問題，本發明實施例主要提供如下技術方案：

在第一方面中，本發明實施例公開了一種顯示面板，包括：依次位于基底上的基板、半導體有源層、柵極絕緣層和柵極，還包括熒光層；

所述熒光層位于所述基板上，用于后續采用激光剝離技術剝離所述基底時，遮擋照射到所述半導體有源層的光線。

可選地，所述熒光層在所述基底上的正投影與所述半導體有源層在所述基底上的正投影完全重疊；或

所述熒光層在所述基底上的正投影與所述基板在所述基底上的正投影完全重疊。

可選地，所述熒光層的材料包括：混合有有機熒光材料的光刻膠，或混合有無機熒光材料的光刻膠。

可選地，所述有機熒光材料包括：熒光素、羅丹明、菁染料、芘類染料中的一種；

所述無機熒光材料包括：堿金屬硫化物以及鋁酸鹽中的一種。

可選地，還包括：依次設置在所述柵極上的層間絕緣層、源漏極、鈍化層、平坦層、陽極層、像素界定層、支撐層、發光層以及薄膜封裝層。

可選地，所述顯示面板為有機電致發光顯示面板。

可選地，所述顯示面板還包括：緩沖層，位于所述熒光層上。

在第二方面中，本發明實施例公開了一種顯示裝置，包括：第一方面所述的顯示面板。

在第三方面中，本發明實施例公開了一種顯示面板的制造方法，包括：

在基底上制作基板；

在所述基板上制作熒光層，在所述熒光層上制作緩沖層，所述熒光層用于后續采用激光剝離技術剝離所述基底時，遮擋照射到所述半導體有源層的光線；

在所述緩沖層上通過構圖工藝依次制作半導體有源層、柵極絕緣層和柵極。

可選地，在所述基板上制作熒光層，包括：