[發明專利]一種分光裝置有效
| 申請號： | 201910059059.0 | 申請日： | 2019-01-22 |
| 公開（公告）號： | CN111458893B | 公開（公告）日： | 2021-05-04 |
| 發明（設計）人： | 徐建旭;蘭艷平 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備(集團)股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B27/14 | 分類號： | G02B27/14 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 分光 裝置 | ||
1.一種分光裝置，其特征在于，包括：
第一分光單元，所述第一分光單元包括第一反射面；
第二分光單元，所述第二分光單元包括第二反射面；
所述第一反射面和所述第二反射面垂直；
一束入射光線入射到所述第一反射面發生反射，形成第一反射光線，所述第一反射光線入射到所述第二反射面，形成第二反射光線；
所述入射光線與所述第一反射光線所在的平面為第一入射面，偏振方向平行于所述第一入射面的入射光線在所述第一反射面的反射率為第一反射率，偏振方向垂直于所述第一入射面的入射光線在所述第一反射面的反射率為第二反射率；
所述第一反射光線與所述第二反射光線所在的平面為第二入射面，偏振方向平行于所述第二入射面的第一反射光線在所述第二反射面的反射率為第三反射率，偏振方向垂直于所述第二入射面的第一反射光線在所述第二反射面的反射率為第四反射率；
所述第一反射率和所述第三反射率相同，所述第二反射率和所述第四反射率相同。
2.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一反射面的表面和所述第二反射面的表面設置有光學膜層，所述光學膜層具有預設的透反比。
3.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一分光單元和所述第二分光單元均為平板分光鏡。
4.根據權利要求3所述的分光裝置，其特征在于，所述第一分光單元和所述第二分光單元的形狀和材料均相同。
5.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述第一分光單元包括第一楔形分光鏡，所述第二分光單元包括第二楔形分光鏡；
所述第一楔形分光鏡用于使一部分入射光反射，另一部分入射光透射，透射光的出射面為所述第一楔形分光鏡的出光面。
6.根據權利要求5所述的分光裝置，其特征在于，還包括第三分光單元，所述第三分光單元包括第三楔形分光鏡，所述第三楔形分光鏡包括第一入光面和第二入光面；
所述第三楔形分光鏡的第一入光面與所述第一楔形分光鏡的出光面平行，所述第三楔形分光鏡的第二入光面與所述第一反射面平行。
7.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡與所述第三楔形分光鏡的形狀和材料相同。
8.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，所述第一楔形分光鏡與所述第三楔形分光鏡之間的距離可調。
9.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，還包括第一擋片，用于遮擋所述第一楔形分光鏡的出光面反射并經所述第一反射面透射的光線、所述第三楔形分光鏡的第一入光面的反射光線以及所述第三楔形分光鏡的第二入光面反射并經所述第三楔形分光鏡的第一入光面透射的光線。
10.根據權利要求6所述的分光裝置，其特征在于，還包括位于所述第三楔形分光鏡的第二入光面一側，且與所述第三楔形分光鏡共光軸排列的第四分光單元，所述第四分光單元包括第四楔形分光鏡和第五楔形分光鏡；
所述第三楔形分光鏡與所述第四楔形分光鏡關于垂直于光軸的平面鏡像對稱；
所述第一楔形分光鏡與所述第五楔形分光鏡關于垂直于光軸的平面鏡像對稱。
11.根據權利要求1所述的分光裝置，其特征在于，所述入射光線入射到所述第一反射面的入射角為45°。
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