[發(fā)明專利]一種應用于電阻法真空蒸鍍鋁厚膜設備的專用夾具

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910054977.4
• 申請日: 2019-01-21
• 公開（公告）號: CN109594051A
• 公開（公告）日: 2019-04-09
• 發(fā)明（設計）人: 單慶;孫盼;單驍;羅怡;徐征
• 申請（專利權）人: 大連理工大學
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/26;C23C14/14
• 代理公司: 大連理工大學專利中心 21200
• 代理人: 溫福雪;侯明遠

1.一種應用于電阻法真空蒸鍍鋁厚膜設備的專用夾具，其特征在于，該專用夾具為左右對稱結構，包括左夾具(1)、左電極(3)、第一鎢絲蓋板(4)、第一鎢絲(7)、第二鎢絲(8)、鋁環(huán)(9)、第二鎢絲蓋板(11)、右電極(13)和右夾具(14)；

所述的左夾具(1)和右夾具(14)分別與第一螺栓(2)和第六螺栓(15)配合，對應夾持左電極(3)和右電極(13)；左夾具(1)和右夾具(14)結構相同，分為固定電極端和固定鎢絲端；

所述的第一鎢絲(7)和第二鎢絲(8)水平固定在左夾具(1)和右夾具(14)之間，分別通過第一鎢絲蓋板(4)、第二鎢絲蓋板(11)、左夾具(1)和右夾具(14)的固定鎢絲端及螺栓配合進行固定；第一鎢絲(7)和第二鎢絲(8)的每個螺旋上面懸掛一組蒸鍍用的鋁環(huán)(9)。