[發明專利]一種強效去污多晶硅片用清洗液及其制備方法

在審

• 申請號: 201910054813.1
• 申請日: 2019-01-21
• 公開（公告）號: CN109777653A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 李廣森
• 申請（專利權）人: 安徽華順半導體發展有限公司
• 主分類號: C11D1/83
• 分類號: C11D1/83;C11D3/04;C11D3/32;C11D3/33;C11D3/37;C11D3/20;C11D3/60
• 代理公司: 合肥匯融專利代理有限公司 34141
• 代理人: 張雁

1.一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述清洗液由以下重量份的原料制成：二辛基琥珀酸磺酸鈉4-6份、二異辛基丁二酸酯磺酸鈉2-4份、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉6-8份、硬脂酸甘油酯8-10份、聚氧乙烯烷基醇酰胺1-3份、氫氧化鈉1-2份、螯合劑0.6-0.8份、交聯劑0.3-0.5份、增稠劑1-2份、增溶劑0.8-1.0份、消泡劑1.2-1.4份、去離子水200-240份。

2.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述清洗液由以下重量份的原料制成：二辛基琥珀酸磺酸鈉5份、二異辛基丁二酸酯磺酸鈉3份、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉7份、硬脂酸甘油酯9份、聚氧乙烯烷基醇酰胺2份、氫氧化鈉1.5份、螯合劑0.7份、交聯劑0.4份、增稠劑1.5份、增溶劑0.9份、消泡劑1.3份、去離子水220份。

3.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述螯合劑為乙二胺四乙酸二鈉。

4.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述交聯劑為N-羥甲基丙烯酰胺、甲叉雙丙烯酰胺和1，4-丁二醇二縮水甘油醚中的一種或多種。

5.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述增稠劑為氯化鈉、聚丙烯酸鈉和羧甲基纖維素中的一種或多種。

6.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述增溶劑為十二烷基硫酸鈉、月桂醇硫酸鈉和山梨醇中的一種或多種。

7.根據權利要求1所述的一種強效去污多晶硅片用清洗液，其特征在于，所述消泡劑甲基硅油、聚氧乙烯聚氧丙醇胺醚和聚氧丙烯甘油醚中的一種或多種。

8.一種強效去污多晶硅片用清洗液的制備方法，其特征在于，所述清洗液的制備方法包括以下步驟：

(1)將二辛基琥珀酸磺酸鈉、二異辛基丁二酸酯磺酸鈉和脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉混合后加入高速分散機內，再加入螯合劑，升溫至50-60℃，調整轉速至600-800r/min，高速分散20-30min得物料A備用；

(2)將硬脂酸甘油酯、聚氧乙烯烷基醇酰胺和交聯劑混合后加入攪拌機內，調整轉速至100-140r/min，攪拌10-20min后將其混合物置于保溫箱中，升溫至60-80℃，保溫改性30-50min得物料B備用；

(3)將制得的物料A和物料B混合后在80-100℃條件下進行恒溫水浴加熱，調整轉速至160-180r/min，保溫攪拌1-2h后加入氫氧化鈉和增稠劑，繼續保溫攪拌40-60min得清洗液原料備用；

(4)向制得的清洗液原液中加入去離子水，并且加入增溶劑和消泡劑，再將其混合液加入超聲震蕩儀中，超聲混合2-4h得到產品。