[發明專利]一種PERC雙面電池制作工藝

在審

• 申請號: 201910054105.8
• 申請日: 2019-01-21
• 公開（公告）號: CN109904067A
• 公開（公告）日: 2019-06-18
• 發明（設計）人: 談錦彪;從海泉;姜昀;徐東升;李慧;馬擎天
• 申請（專利權）人: 東方環晟光伏（江蘇）有限公司
• 主分類號: H01L21/22
• 分類號: H01L21/22;H01L21/265;H01L21/268;H01L31/0224;H01L31/068;H01L31/18
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 劉暢;徐冬濤

1.一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于它包括以下步驟：

①硅表面制絨：選擇P型硅片，對選擇的P型硅片的雙面在堿液下進行表面絨面化，然后在酸性條件下進行化學清洗，除去表面雜質；

②擴散：采用離子注入方式，在電池背面進行B擴散，在電池正面進行P擴散，然后通過退火激活。

③激光SE：設計背面激光圖形，通過激光工藝進行背面鋁柵線B區域進行重摻，使硅片背面面形成p++摻雜層，設計正面激光圖形，通過激光工藝進行正面銀柵線P區域進行重摻，使硅片背面面形成n++摻雜層；

④單晶刻蝕拋光：單晶背面拋光；

⑤背面沉淀鈍化膜：背面單面依次沉積氧化鋁/氮化硅疊層膜；

⑥正面沉積減反射膜：正面沉積氮化硅減反射膜；

⑦背面激光刻劃接觸區：背面局部打開薄膜，背面激光圖形設計：光斑直徑：10-35μm，激光線的間距：500-700μm；

⑧背面印刷背電極和鋁柵線，背面采用鋁柵線設計，鋁背場網版設計：鋁柵線寬度：100-300μm，副柵根數：96-115根；

⑨正面印刷銀柵線；

⑩高溫燒結。

2.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑦中，光斑直徑為15μm，激光線的間距為550μm。

3.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑦中，光斑直徑為25μm，激光線的間距為650μm。

4.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑦中，光斑直徑為45μm，激光線的間距為750μm。

5.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑧中，鋁柵線寬度：60μm，副柵根數：96根。

6.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑧中，鋁柵線寬度：80μm，副柵根數：105根。

7.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟⑧中，鋁柵線寬度：100μm，副柵根數：115根。

8.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟①中，化學清洗的具體步驟為：用質量分數為1.2±0.2％的氫氧化鈉或氫氧化鉀溶液在80±2℃下對P型硅片表面進行化學腐蝕，制備出金字塔形狀的絨面，隨后用質量分數為15±3％的氫氟酸進行清洗。

9.根據權利要求1所述的一種P型PERC雙面太陽電池的制作工藝，其特征在于，步驟②中，P擴散方阻110±20歐姆，B擴散方阻60±20歐姆。