[發(fā)明專利]一種雙轉(zhuǎn)盤安裝結(jié)構(gòu)及帶有該安裝結(jié)構(gòu)的顯微掃描結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910050692.3
• 申請日: 2017-01-17
• 公開（公告）號: CN109540798B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙煙橋;樊琪
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱理工大學(xué)
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/84
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• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明一種雙轉(zhuǎn)盤安裝結(jié)構(gòu)及帶有該安裝結(jié)構(gòu)的顯微掃描結(jié)構(gòu)屬于顯微測量技術(shù)領(lǐng)域；該結(jié)構(gòu)包括第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤；第一轉(zhuǎn)盤沿半徑方向開有通槽，第二轉(zhuǎn)盤開有螺旋形狀的通槽，第一轉(zhuǎn)盤通槽和第二轉(zhuǎn)盤通槽的組合，形成通光孔；第二轉(zhuǎn)盤相對于第一轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，能夠改變徑向照明角度；第二轉(zhuǎn)盤和第一轉(zhuǎn)盤整體轉(zhuǎn)動，能夠改變軸向照明角度；本發(fā)明雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)，針對橢球反射照明顯微測量裝置的特殊結(jié)構(gòu)，提供了一種能夠置于顯微測量裝置內(nèi)部的掃描機構(gòu)，實現(xiàn)了徑向30至120度的掃描范圍以及軸向360度的掃描范圍。

本申請是發(fā)明專利申請《雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)》的分案申請。

原案申請日：2017-01-17。

原案申請?zhí)枺?017100361060。

原案發(fā)明名稱：雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明一種雙轉(zhuǎn)盤安裝結(jié)構(gòu)及帶有該安裝結(jié)構(gòu)的顯微掃描結(jié)構(gòu)屬于顯微測量技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

基于橢球反射鏡照明的顯微測量裝置，采用大數(shù)值孔徑的橢球反射鏡，并且橢球反射鏡的遠焦點與照明物鏡的焦點重合，此處提供照明光源，近焦點處放置實驗樣品，即可獲得前向與后向的大角度照明。利用橢球反射鏡照明獲得前向與后向的大角度照明，能夠有效地克服顯微系統(tǒng)分辨力受數(shù)值孔徑限制的不足，大幅度提高系統(tǒng)的橫向分辨力及軸向分辨力，具有廣闊的應(yīng)用前景。

在顯微測量技術(shù)領(lǐng)域，掃描照明的技術(shù)手段被廣泛采用，橢球反射照明顯微測量裝置也不例外。不僅如此，掃描裝置還是橢球反射照明顯微測量裝置中重要組成部分。由于橢球反射鏡照明方式的特殊性，需要將掃描裝置置于顯微測量裝置的內(nèi)部，因此傳統(tǒng)的振鏡或轉(zhuǎn)鏡等設(shè)置在顯微測量裝置外部的掃描方式無法直接應(yīng)用到橢球反射照明顯微測量裝置中。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決傳統(tǒng)振鏡或轉(zhuǎn)鏡掃描結(jié)構(gòu)無法直接應(yīng)用到橢球反射照明顯微測量裝置中的問題，本發(fā)明公開了一種雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)，針對橢球反射照明顯微測量裝置的特殊結(jié)構(gòu)，提供了一種能夠置于顯微測量裝置內(nèi)部的掃描機構(gòu)，實現(xiàn)了徑向30至120度的掃描范圍以及軸向360度的掃描范圍。

本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：

雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)，包括第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤；

所述第一轉(zhuǎn)盤沿半徑方向開有通槽，所述第二轉(zhuǎn)盤開有螺旋形狀的通槽，所述螺旋形狀繞圓心旋轉(zhuǎn)一周，始端和終端位于同一半徑上，第一轉(zhuǎn)盤通槽和第二轉(zhuǎn)盤通槽的組合，形成通光孔；

所述第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤均由磁性材料制作而成，異名磁極相對設(shè)置；第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤的對向均設(shè)置有環(huán)形凹槽，凹槽內(nèi)部安裝有滾珠，所述滾珠的相對位置由支架固定；利用異性相吸的原理，滾珠被夾持在第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤中間；

第二轉(zhuǎn)盤相對于第一轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，能夠改變徑向照明角度；第二轉(zhuǎn)盤和第一轉(zhuǎn)盤整體轉(zhuǎn)動，能夠改變軸向照明角度。

上述雙轉(zhuǎn)盤式顯微掃描結(jié)構(gòu)，第二轉(zhuǎn)盤相對于第一轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動，第二轉(zhuǎn)盤和第一轉(zhuǎn)盤整體轉(zhuǎn)動，通過以下結(jié)構(gòu)實現(xiàn)：

所述第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤上下放置，在第一轉(zhuǎn)盤中間設(shè)置有截面為倒梯形的通孔，通孔內(nèi)表面為磨砂面，在第二轉(zhuǎn)盤中間設(shè)置有多邊形通孔，第二轉(zhuǎn)盤底部對稱設(shè)置有兩個伸縮桿，伸縮桿底部安裝電機，所述電機的轉(zhuǎn)軸連接轉(zhuǎn)動機構(gòu)，所述轉(zhuǎn)動機構(gòu)的下端為棱柱體，截面形狀與多邊形通孔截面形狀一致，上端為圓臺，與第一轉(zhuǎn)盤的通孔相配合，所述圓臺的側(cè)面為磨砂面；

在伸縮桿縮回時，轉(zhuǎn)動機構(gòu)同時插入第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤的通孔中，利用轉(zhuǎn)動機構(gòu)下端與第二轉(zhuǎn)盤通孔的配合關(guān)系，以及轉(zhuǎn)動機構(gòu)上端與第一轉(zhuǎn)盤通孔內(nèi)表面的摩擦力，實現(xiàn)帶動第一轉(zhuǎn)盤和第二轉(zhuǎn)盤共同旋轉(zhuǎn)；

在伸縮桿伸出時，轉(zhuǎn)動機構(gòu)上端與第一轉(zhuǎn)盤通孔相分離，轉(zhuǎn)動機構(gòu)與第一轉(zhuǎn)盤無作用，實現(xiàn)只帶動第二轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動。