[發明專利]一種二極管生產加工用刻蝕裝置有效
| 申請號: | 201910049595.2 | 申請日: | 2019-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN109830450B | 公開(公告)日: | 2021-10-22 |
| 發明(設計)人: | 黃楚俊 | 申請(專利權)人: | 棗莊九一電子科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 277100 山東省棗*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 二極管 生產 工用 刻蝕 裝置 | ||
1.一種二極管生產加工用刻蝕裝置,包括機殼、泵機殼、儲存罐、保護殼和水冷管,其特征在于:所述保護殼位于機殼頂部,所述機殼的頂部表面一體成型有軌道B,所述保護殼通過滑塊安裝在軌道B上,所述保護殼的頂部表面固定有固定板A,所述固定板A連接的保護殼頂部一面通過合頁與保護殼側面進行連接,所述保護殼遠離泵機殼一側設置有把手,所述把手一端與連接桿螺紋連接,所述連接桿遠離把手一端連接有固定板C,所述固定板C固定于固定板B的上表面,所述固定板B上表面開設有滑槽,所述固定板B的底部固定有鹽水箱,所述鹽水箱通過管道與噴頭連通,所述噴頭固定于所述固定板C的頂部,所述機殼側表面固定有控制開關,所述泵機殼位于機殼頂部,所述泵機殼內部固定有泵機,所述泵機殼靠近保護殼的一側表面一體成型有軌道A,所述軌道A通過滑塊安裝有儲存罐。
2.根據權利要求1所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述儲存罐外壁設置有注劑口,所述儲存罐表面設置有有凹槽,所述凹槽內部設置有泵機的開關,所述儲存罐底面連通有噴嘴管,所述噴嘴管底端連接有噴嘴。
3.根據權利要求1所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述機殼內部設置有電源和水冷箱,所述水冷箱位于電源的底部,所述水冷箱內部一角固定有水冷泵機,所述水冷泵機與水冷管相連通。
4.根據權利要求3所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述控制開關與所述水冷泵機電性相連。
5.根據權利要求1所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述滑槽由兩條橫向槽與一條縱向槽所組成,所述縱向槽位于固定板上表面的中軸線處。
6.根據權利要求1所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述固定板B遠離連接桿一端上表面固定有夾爪,所述夾爪為N型塊。
7.根據權利要求3所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述水冷管固定于機殼的內壁,且所述水冷管呈螺旋狀。
8.根據權利要求3所述的一種二極管生產加工用刻蝕裝置,其特征在于:所述電源與所述泵機、所述水冷泵機電性相連。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





