[發明專利]用于形成可以成像為小散斑線的均勻照射線的系統有效
| 申請號: | 201910049286.5 | 申請日: | 2019-01-18 |
| 公開(公告)號: | CN110057318B | 公開(公告)日: | 2021-12-14 |
| 發明(設計)人: | A·帕雷特;J·F·菲爾哈貝爾;A·古德勒;L·貝朗格;R·齊默爾曼 | 申請(專利權)人: | 康耐視股份有限公司 |
| 主分類號: | G01B11/25 | 分類號: | G01B11/25 |
| 代理公司: | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人: | 劉鋒 |
| 地址: | 美國馬*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 形成 可以 成像 小散斑線 均勻 射線 系統 | ||
1.一種光學系統,其包括:
激光器,其經配置以發射準直激光束;以及
照射扇生成器,其包括扇形光束生成器和一或多個線性漫射器,所述一或多個線性漫射器具有漫射方向,其中所述一或多個線性漫射器在掃描路徑的不同位置處的表面粗糙度具有隨機差異,且其中所述照射扇生成器經布置且經配置以
接收所述準直激光束,
輸出漫射光平面扇,使得所述漫射光平面扇從在所述一或多個線性漫射器中的最遠側線性漫射器上形成的光線發散,以及
使得在所述漫射光平面扇和物體相交處形成照射線;以及
圖像采集裝置,其安置成使得其光軸相對于所述漫射光平面扇形成銳角,且經配置以將所述照射線的圖像形成為去散斑圖像,
其中所述去散斑圖像包括一系列圖像的平均值,每一圖像對應于在曝光時間間隔期間形成的每一照射線。
2.根據權利要求1所述的光學系統,
其中所述扇形光束生成器經布置且經配置以接收所述準直激光束并沿著所述漫射方向形成與所述線性漫射器相交的扇形光束,
其中所述線性漫射器透射對應于所述光線的光,以形成所述漫射光平面扇。
3.根據權利要求2所述的光學系統,其中所述扇形光束生成器包括線性漫射器。
4.根據權利要求2或3中任一項所述的光學系統,其中所述線性漫射器包括偽隨機柱面陣列或全息光學元件中的一個。
5.根據權利要求2所述的光學系統,其中所述扇形光束生成器包括柱面透鏡或鮑威爾透鏡中的一個。
6.根據權利要求2所述的光學系統,其中
由所述扇形光束生成器形成的扇形光束的發散角大于目標發散角,且
所述扇形光束生成器和線性漫射器之間的間隔(d)大于預定間隔,以確保由所述扇形光束在所述線性漫射器上形成的所述光線的長度(LX)大于目標長度,所述預定間隔與所述目標發散角和所述目標長度成正比。
7.根據權利要求2所述的光學系統,其包括驅動器,所述驅動器經配置以使所述線性漫射器相對于所述扇形光束生成器進行循環運動,所述循環運動是沿著所述線性漫射器的漫射方向。
8.根據權利要求7所述的光學系統,其中
所述驅動器經配置以在所述循環運動的速度低于預定速度時停用所述激光器,且所述預定速度與所述曝光時間間隔成反比。
9.根據權利要求2或3所述的光學系統,其中所述圖像采集裝置經配置以將所述照射線的圖像形成為均勻線。
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